深圳大学郑壮豪获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳大学申请的专利一种超高择优取向柔性CuxSe热电薄膜及其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114530545B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210146441.7,技术领域涉及:H10N10/01;该发明授权一种超高择优取向柔性CuxSe热电薄膜及其制备方法与应用是由郑壮豪;张栋梁;陈跃星设计研发完成,并于2022-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超高择优取向柔性CuxSe热电薄膜及其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本发明公开一种超高择优取向柔性CuxSe热电薄膜及其制备方法与应用,其中,所述超高择优取向柔性CuxSe热电薄膜的制备方法包括步骤:提供柔性衬底;采用Cu2Se合金靶材和Cu靶材,在所述柔性衬底上进行磁控共溅射,然后进行热处理,制备得到超高择优取向柔性CuxSe热电薄膜,其中,x的取值范围为0.5~2.5。本发明采用Cu2Se合金靶材和Cu靶材,利用磁控共溅射方法,在耐高温的柔性衬底上制备出具有超高0l0取向及优异热电性能的柔性CuxSe热电薄膜。本发明提供的制备方法操作简便、成本低、易于控制热电薄膜成分和热电薄膜生长取向,制备得到的柔性CuxSe热电薄膜质量高、热电性能好、重复性好、可实现大面积产业化生产。
本发明授权一种超高择优取向柔性CuxSe热电薄膜及其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种超高择优取向柔性CuxSe热电薄膜的制备方法,其特征在于,包括步骤: 提供柔性衬底; 采用Cu2Se合金靶材和Cu靶材,在所述柔性衬底上进行磁控共溅射,然后进行热处理,制备得到所述超高择优取向柔性CuxSe热电薄膜,其中,x的取值范围为0.5~2.5,所述CuxSe热电薄膜具有(0l0)取向。
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