东京毅力科创株式会社中山博之获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利检查装置、控制方法和控制程序获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114814509B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210020744.4,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权检查装置、控制方法和控制程序是由中山博之设计研发完成,并于2022-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本检查装置、控制方法和控制程序在说明书摘要公布了:本发明提供在进行被检查体的检查时选择适当的温度传感器进行温度控制的检查装置、控制方法和控制程序。本发明的检查装置包括:获取部,其获取进行被检查体的检查时的、表示载置台中的该被检查体的位置的第一坐标信息和表示该载置台中的多个温度传感器的位置的多个第二坐标信息;计算部,其计算由上述第一坐标信息的平均矢量确定的位置与上述多个温度传感器的位置之间的马氏距离;选择部,其选择包含上述马氏距离最小的温度传感器在内的至少一个温度传感器;以及控制部,其使用由所选择的温度传感器测量出的温度数据来进行上述被检查体的温度控制。
本发明授权检查装置、控制方法和控制程序在权利要求书中公布了:1.一种检查装置,其特征在于,包括: 获取部,其获取进行被检查体的检查时的、表示载置台中的该被检查体的位置的第一坐标信息和表示该载置台中的多个温度传感器的位置的多个第二坐标信息; 计算部,其计算由所述第一坐标信息的平均矢量确定的位置与所述多个温度传感器的位置之间的马氏距离; 选择部,其选择包含所述马氏距离最小的温度传感器在内的至少一个温度传感器;以及 控制部,其使用由所选择的温度传感器测量出的温度数据来进行所述被检查体的温度控制。
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