中微半导体设备(上海)股份有限公司张辉获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种支撑组件、外延沉积的反应器及其组装方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116411262B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111657236.9，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权一种支撑组件、外延沉积的反应器及其组装方法是由张辉;杜冰洁设计研发完成，并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种支撑组件、外延沉积的反应器及其组装方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于支撑基片托盘的支撑组件，包括一旋转轴和多个支撑杆。旋转轴顶部侧壁上开设多个安装槽，所述支撑杆包括依次连接的插入部、延伸部和支撑部，所述支撑部用于支撑基片托盘；多个支撑杆的插入部依次插入旋转侧壁的多个安装槽中，实现支撑组件的组装。其中安装槽和支撑杆的插入部上设置有定位结构，支撑杆位于安装槽下方空间时可以受支撑杆本身重力驱动，使得插入部自动向上运动到紧贴安装槽顶部倾斜面，实现支撑杆的自动定位。
本发明授权一种支撑组件、外延沉积的反应器及其组装方法在权利要求书中公布了：1.一种用于支撑基片托盘的支撑组件，包括一旋转轴和多个支撑杆，其特征在于： 所述旋转轴顶部侧壁上开设多个安装槽，所述支撑杆包括依次连接的插入部、延伸部和支撑部，所述支撑部用于支撑基片托盘； 插入部具有至少一个底壁和一倾斜的外侧壁； 所述插入部可在所述安装槽内的第一位置和第二位置之间移动，其中第一位置低于所述第二位置； 所述插入部位于安装槽内第一位置时，所述插入部的倾斜外侧壁与安装槽的内侧壁之间存在间隙，所述插入部能够宽松的插入或拔出安装槽，且所述支撑杆的重心位于远离旋转轴的延伸部上，所述支撑杆的重力使插入部具有向所述第二位置运动的力； 所述插入部倾斜外侧壁上设置有凸起部，所述插入部向上运动到第二位置时，通过所述凸起部与安装槽的倾斜内侧壁互相紧贴，支撑杆与安装槽之间互相卡紧后实现插入部的固定，同时插入部底壁与安装槽底壁之间存在间隙。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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