长江存储科技有限责任公司张昆获国家专利权
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龙图腾网获悉长江存储科技有限责任公司申请的专利OPC模型数据收集方法、数据收集系统及OPC模型优化方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114488680B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111622746.2，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权OPC模型数据收集方法、数据收集系统及OPC模型优化方法是由张昆;张雷设计研发完成，并于2021-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本OPC模型数据收集方法、数据收集系统及OPC模型优化方法在说明书摘要公布了：公开了一种OPC模型数据收集方法、数据收集系统及OPC模型优化方法，OPC模型数据收集方法包括：采用初始OPC模型对测试图案的曼哈顿版图进行仿真得到仿真结果；将所述仿真结果输入量测工具中，建立特征尺寸量测标准；以及采用所述特征尺寸量测标准采集所述测试图案的实际晶圆图案的特征尺寸，得到收集数据。该OPC模型数据收集方法及数据收集系统通过采用初始OPC模型对测试图案的曼哈顿版图进行了仿真，再采用仿真结果建立特征尺寸量测标准，经过仿真的版图与实际晶圆的尺寸相差较小，以此建立特征尺寸量测标准能更好的与实际晶圆的图案吻合，保证良好的数据收集结果，使得数据收集准确，进而能得到更精确的模型校准结果。
本发明授权OPC模型数据收集方法、数据收集系统及OPC模型优化方法在权利要求书中公布了：1.一种OPC模型数据收集方法，包括： 采用初始OPC模型对测试图案的曼哈顿版图进行仿真得到仿真结果； 将所述仿真结果输入量测工具中，建立特征尺寸量测标准；以及 采用所述特征尺寸量测标准采集所述测试图案的实际晶圆图案的特征尺寸，得到收集数据。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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