西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司崔贤斌获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司申请的专利一种用于硅片清洗的承载装置、设备及硅片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114242630B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111589712.8,技术领域涉及:H01L21/673;该发明授权一种用于硅片清洗的承载装置、设备及硅片是由崔贤斌;金柱炫;李在桓设计研发完成,并于2021-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于硅片清洗的承载装置、设备及硅片在说明书摘要公布了:本发明实施例公开了一种用于硅片清洗的承载装置、设备及硅片;所述承载装置包括由多根支撑杆组成的用于承载硅片的承载架;每根支撑杆包括:用于插放硅片的多个插槽;在所述插槽的相对侧沿周向方向均匀分布的多个凹槽,所述凹槽内允许清洗液流动。
本发明授权一种用于硅片清洗的承载装置、设备及硅片在权利要求书中公布了:1.一种用于硅片清洗的承载装置,其特征在于,所述承载装置包括由多根支撑杆组成的用于承载硅片的承载架;每根支撑杆包括: 用于插放硅片的多个插槽; 在所述插槽的相对侧沿周向方向均匀分布的多个凹槽,所述凹槽内允许清洗液流动; 其中,在每片所述硅片与所述支撑杆的接触位置处沿径向方向分别开设有导流槽,并且所述导流槽内允许所述清洗液流动;以及 每条所述导流槽包括一节直流槽和多节分支状流槽,以使得清洗液经所述直流槽后流经至各节所述分支状流槽。
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