细美事有限公司孙亨圭获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理设备和基板支撑单元获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114628215B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111384124.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基板处理设备和基板支撑单元是由孙亨圭;安宗焕;曺在玄;裵珉槿;金东奭;金铉珪;O·嘉尔斯蒂安;李元硕;金成帝设计研发完成，并于2021-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备和基板支撑单元在说明书摘要公布了：本发明构思涉及一种设置在用于使用等离子体处理基板的设备中的基板支撑单元。在一个实施例中，所述基板支撑单元包括：其上放置所述基板的电介质板、设置在所述电介质板下方并具有第一直径的下电极、将RF功率施加到所述下电极并具有第二直径的电源杆、以及设置在所述下电极下方并通过绝缘构件与所述下电极间隔开第一间隙的接地构件，所述接地构件包括板部分，在所述板部分中形成有供所述电源杆所穿过的通孔，其中所述通孔具有第三直径。
本发明授权基板处理设备和基板支撑单元在权利要求书中公布了：1.一种设置在使用等离子体处理基板的设备中的基板支撑单元，所述基板支撑单元包括： 电介质板，所述基板放置在所述电介质板上； 下电极，所述下电极设置在所述电介质板的下方，所述下电极具有第一直径； 电源杆，所述电源杆被配置为向所述下电极施加RF功率，所述电源杆具有第二直径；以及 接地构件，所述接地构件设置在所述下电极的下方并且通过绝缘构件与所述下电极间隔开第一间隙，所述接地构件包括板部分，在所述板部分中形成有供所述电源杆穿过的通孔，其中所述通孔具有第三直径， 其中所述下电极包括从所述下电极的下表面的中心向下延伸并具有朝向底部减小的直径的变形部分，并且所述电源杆联接到所述变形部分的端部部分。
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