无锡华瑛微电子技术有限公司温子瑛获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡华瑛微电子技术有限公司申请的专利流体处理装置、流体处理方法和半导体处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116078242B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111315885.0，技术领域涉及：B01F33/40；该发明授权流体处理装置、流体处理方法和半导体处理系统是由温子瑛设计研发完成，并于2021-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本流体处理装置、流体处理方法和半导体处理系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种流体处理装置、方法和半导体处理系统。所述流体处理装置包括：至少两个旋转阀，每个旋转阀均包括一个共有通孔和多个可选通孔，每个旋转阀的多个可选通孔中有一个可选通孔通过管线与气体口连通，和或有一个可选通孔通过管线与样品引入口连通，和或有一个通过管线与清洗溶液口连通，其中有一个旋转阀的一个可选通孔通过管线与样品引出口连通；流体容器，其内部形成有腔体，其顶部开设有多个通孔，其底部设有一个或多个通孔，其中位于顶部的一个通孔通过管线与其中一个旋转阀的共有通孔连通，位于底部的一个通孔通过管线与其中另一个旋转阀的共有通孔连通。其能够自动实现对不同液体样品的精确的充分的混合，并且易于清洗。
本发明授权流体处理装置、流体处理方法和半导体处理系统在权利要求书中公布了：1.一种流体处理装置，其特征在于，其包括： 管线； 至少两个旋转阀，每个旋转阀均包括一个共有通孔和多个可选通孔，通过旋转所述旋转阀能够将所述共有通孔与多个可选通孔中的一个可选通孔通过内部通路连通，每个旋转阀的多个可选通孔中有一个可选通孔通过管线与气体口连通以接收气体，和或有一个可选通孔通过管线与样品引入口连通以接收液体样品，和或有一个通过管线与清洗溶液口连通以接收清洗溶液，其中有一个旋转阀的一个可选通孔通过管线与样品引出口连通以排出液体样品；和 流体容器，其内部形成有腔体，其顶部开设有与所述腔体连通的一个或多个通孔，其底部设有与所述腔体连通的一个或多个通孔，其中位于顶部的一个通孔通过管线与其中一个旋转阀的共有通孔连通，位于底部的一个通孔通过管线与其中另一个旋转阀的共有通孔连通。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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