无锡华瑛微电子技术有限公司马杰获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡华瑛微电子技术有限公司申请的专利自动溶液配制装置及方法和半导体处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116078259B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111314416.7，技术领域涉及：B01F35/71；该发明授权自动溶液配制装置及方法和半导体处理系统是由马杰设计研发完成，并于2021-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本自动溶液配制装置及方法和半导体处理系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种微量低浓度溶液的自动精准配制装置、方法和半导体处理系统。所述溶液自动配制装置包括：管线；五个旋转阀，其中第一旋转阀的至少一个选用通孔接收至少一种稀释液，第二旋转阀的共用通孔通过管线与第一旋转阀的共用通孔连通，第三旋转阀的共用通孔与第四旋转阀的一个选用通孔连通，第四旋转阀的至少一个选用通孔接收至少一种原液，第五旋转阀的至少一个选用通孔通过管线与配制液容器连通，第五旋转阀的一个选用通孔通过管线连通废液收集容器或废液排放管道；第一定量环，连通于第二旋转阀的一个选用通孔和第三旋转阀的一个选用通孔之间；第二定量环，连通于第四旋转阀的共用通孔和第五旋转阀的共用通孔之间。
本发明授权自动溶液配制装置及方法和半导体处理系统在权利要求书中公布了：1.一种自动溶液配制装置，其特征在于，其包括： 管线； 第一旋转阀、第二旋转阀、第三旋转阀、第四旋转阀和第五旋转阀，其中每个旋转阀均包括一个共用通孔和多个选用通孔，通过受控的自动旋转所述旋转阀能够将所述共用通孔与多个选用通孔中的一个选用通孔通过内部通路连通，第一旋转阀的至少一个选用通孔通过所述管线接收至少一种稀释液，第二旋转阀的共用通孔通过管线与第一旋转阀的共用通孔连通，第三旋转阀的共用通孔与第四旋转阀的一个选用通孔通过管线连通，第四旋转阀的至少一个选用通孔接收至少一种原液，第五旋转阀的至少一个选用通孔通过管线与配制液容器连通，第五旋转阀的一个选用通孔通过管线排出废液； 至少一个第一定量环，其中每个第一定量环连通于第二旋转阀的一个选用通孔和第三旋转阀的一个选用通孔之间； 第二定量环，连通于第四旋转阀的共用通孔和第五旋转阀的共用通孔之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡华瑛微电子技术有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新区震泽路18号国家软件园3期鲸鱼座A栋1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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