杰宜斯科技有限公司孔云获国家专利权
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龙图腾网获悉杰宜斯科技有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114121757B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110969515.2，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权基板处理装置是由孔云;宋智勋;文雄助;朴芝镐设计研发完成，并于2021-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基板处理装置，其特征在于，可以包括：真空卡盘部，供晶片放置；环盖部，沿着所述真空卡盘部的外围部配置，以加压所述晶片从而密封所述真空卡盘部的外围部侧；以及密封环部，与所述晶片的贴合片紧贴，并通过所述环盖部而被加压。根据本发明，随着卡紧基座的旋转，多个第一卡紧连杆部和多个晶片限制部同时移动，因此可以利用一个卡紧旋转部将晶片限制在真空卡盘部，从而，能够减少设置于卡紧模块的卡紧旋转部的个数。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 真空卡盘部，供晶片放置； 环盖部，沿着所述真空卡盘部的外围部配置，以加压所述晶片从而密封所述真空卡盘部的外围部侧；以及 密封环部，与所述晶片的贴合片紧贴，并通过所述环盖部而被加压， 其中，所述密封环部的内部形成有变形空间部，以便在所述环盖部加压时供密封环部变形，并且 其中，在所述真空卡盘部上形成有挂接部，并且所述挂接部限制所述密封环部的下侧，以防止所述密封环部与所述真空卡盘部分离。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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