广东众元半导体科技有限公司刘胜获国家专利权
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龙图腾网获悉广东众元半导体科技有限公司申请的专利一种衬底加热器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115442924B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110615227.7，技术领域涉及：H05B3/02；该发明授权一种衬底加热器是由刘胜;甘志银;王亦凡;沈桥设计研发完成，并于2021-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种衬底加热器在说明书摘要公布了：一种用于MBE设备的衬底加热器，主要包括外框、固定顶板、上隔热板、侧隔热环、下层隔热板、内圈加热丝、外圈加热丝。本发明采用内外双热丝产生的双热区加热方式，可以提高衬底片的加热温度均匀性，提高分子束外延反应速率，能够提高晶体生长质量，显著提高晶体生长速率，提高生产效率，降低生产成本；采用多层隔热板平行排布设计，有效降低样品台加热丝热源对腔体内部热量的耗散，减少对MBE腔体内其他组件的热影响，保障MBE运行性能。
本发明授权一种衬底加热器在权利要求书中公布了：1.一种衬底加热器，包括外框1、固定顶板2、上隔热板3、侧隔热环4、下隔热板5、内圈热丝6、外圈热丝7、挂载轴8、固定钼丝9、电极10和隔圈11，其特征在于：外框1为圆筒形一体构成，固定顶板2固定连接于并覆盖外框1的上端面；上隔热板3通过挂载轴8与固定顶板2固定，通过隔圈11分隔，自上而下间隔平行设置；侧隔热环4通过固定钼丝9与外框1相固定，自内而外同心间隔设置；多根挂载轴8平行穿过固定顶板2和上隔热板3相固定；多根固定钼丝9穿过外框1和侧隔热环4相固定；下隔热板5固定连接并覆盖外框1下端面；固定顶板2和上隔热板3之间构成上层隔热空间；侧隔热环4和外框1之间构成侧隔热空间；下隔热板5和内圈热丝6、外圈热丝7之间构成下层隔热空间；隔圈11穿过挂载轴8对应的挂载轴8通孔，间隔分布在上隔热板3对应的挂载轴8通孔间；内圈热丝6采用回形螺旋线排布方式，外圈热丝7采用同心圆排布方式；内圈热丝6和外圈热丝7通过多根电极10同心固定，平行于固定顶板2，形成双温区形式排布，所述上隔热板3设置为3层结构。
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