上海微电子装备(集团)股份有限公司王彦飞获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利快门装置、曝光系统以及光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115480454B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110605153.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权快门装置、曝光系统以及光刻机是由王彦飞;吴翔实;杨松设计研发完成，并于2021-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本快门装置、曝光系统以及光刻机在说明书摘要公布了：本发明提供了一种快门装置，包括遮光单元、运动执行单元、转接单元和开设有通光孔的罩壳单元，所述转接单元具有一斜面，所述运动执行单元安装在所述转接单元的斜面上，所述运动执行单元与所述遮光单元连接并带动所述遮光单元运动，当所述运动执行单元在断电时，由于所述运动执行单元重力的作用，安装在所述运动执行单元上的遮光单元可以自动闭合以达到遮住通光孔光路的目的，起到光刻机整机断电自动保护的作用。
本发明授权快门装置、曝光系统以及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种快门装置，用于曝光系统，其特征在于，包括遮光单元、运动执行单元、转接单元和罩壳单元，所述转接单元具有一斜面，所述运动执行单元安装在所述转接单元的斜面上，所述罩壳单元开设有通光孔，所述运动执行单元与所述遮光单元连接并用于带动所述遮光单元运动，当所述运动执行单元未通电时所述遮光单元遮住所述通光孔，其中，所述运动执行单元包括音圈电机，所述音圈电机包括一个扇形线圈，在设备断电时，所述扇形线圈由于重力作用带动所述遮光单元遮住所述通光孔。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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