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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利一种多通道物镜畸变和倍率的检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115309000B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110496405.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种多通道物镜畸变和倍率的检测装置及方法是由曹译莎;唐锋;王向朝;刘洋;卢云君设计研发完成，并于2021-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多通道物镜畸变和倍率的检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多通道物镜畸变和倍率的检测装置及方法。所述多通道物镜畸变和倍率的检测装置包括照明系统、掩模台、测试掩模版、投影物镜、工件台、多通道像面传感器，多通道像面传感器同时对多个物面测试标记经过投影物镜成像后的实际像点与名义像点的成像位置偏移量进行检测，拟合计算物镜的畸变与倍率误差，缩短了检测时间，消除了工件台误差对检测精度的影响，提高了检测精度。

本发明授权一种多通道物镜畸变和倍率的检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种多通道物镜畸变和倍率的检测装置，包含照明系统100、掩模台400、测试掩模版200、投影物镜500、工件台900和传感器，所述的照明系统100，用于提供光源；所述的掩模台400，用于承载所述测试掩模版200；其特征在于：所述的测试掩模版200刻有A组、每组G个共N个物面测试标记，A＝1，G＝3，N＝3，每组的G个物面测试标记的间距p和空间分布都相同，按照间距p沿直线、折线、或者阵列排列，不同组之间的间距＝p，所述物面测试标记300均位于被测投影物镜500的物方视场内； 所述的投影物镜500，用于对物面测试标记300成像；所述的传感器为多通道像面传感器600，用于同时对多个物面测试标记经过投影物镜成像后的实际像点与名义像点的成像位置偏移量进行检测； 所述的工件台900，在检测过程中移动使得多通道像面传感器600的像面测试标记与相应的物面测试标记的名义成像位置对齐； 所述的多通道像面传感器600包含与一组G个物面测试标记成共轭关系的一组G个像面测试标记及一个面阵探测器800，每个像面测试标记的间隔距p’＝M×p，其中，M为投影物镜500的名义微缩倍率；所述的像面测试标记和面阵探测器沿光传输方向依次放置，且该面阵探测器的光敏面与像面测试标记所在平面之间的发散光传输距离q，使得多通道像面传感器的面阵探测器上不同标记的光信号相互不干扰。

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