瑶芯微电子科技(上海)有限公司王青松获国家专利权
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龙图腾网获悉瑶芯微电子科技(上海)有限公司申请的专利一种MEMS麦克风结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114697840B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011642749.8，技术领域涉及：H04R19/00；该发明授权一种MEMS麦克风结构是由王青松设计研发完成，并于2020-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS麦克风结构在说明书摘要公布了：本发明提供一种MEMS麦克风结构，包括振膜、背极、背板、一中心声孔及多个外围声孔，其中，背极位于振膜上方，并在垂直方向上与背极间隔预设距离以形成气隙；背板的至少一部分连接于背极的上表面以支撑背极；中心声孔位于背极的中心，并在垂直方向上贯穿背极与背板；多个外围声孔分布于中心声孔的外围，并以中心声孔为中心呈同心圆分布，背极的边缘不经过任意一外围声孔。本发明优化了声孔的排列分布方式，可以较容易控制背极边缘位于两圈呈同心圆分布的外围声孔之间，而不与开有声孔的背板部位相交，从而有效减小背极边缘与背板交界处的应力集中，避免其容易受到应力集中作用的部分产生裂纹而损坏，从而提高了MEMS麦克风的机械可靠性。
本发明授权一种MEMS麦克风结构在权利要求书中公布了：1.一种MEMS麦克风结构，其特征在于，包括： 振膜； 背极，位于所述振膜上方，并在垂直方向上与所述振膜间隔预设距离以形成气隙； 背板，所述背板的至少一部分连接于所述背极的上表面以支撑所述背极； 一中心声孔，位于所述背极的中心，并在垂直方向上贯穿所述背极与所述背板； 多个外围声孔，分布于所述中心声孔的外围，并以所述中心声孔为中心呈同心圆分布，至少一所述外围声孔在水平面上的投影位于所述背极所在区域，并在垂直方向上贯穿所述背极与所述背板，至少一所述外围声孔在水平面上的投影位于所述背极所在区域以外，并在垂直方向上贯穿所述背板，所述背极的边缘与所述背板交界处不经过任意一所述外围声孔。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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