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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利一种气液抽取分离装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113363178B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011450195.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种气液抽取分离装置是由曹红波;夏广宝;周二虎设计研发完成，并于2020-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气液抽取分离装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种气液抽取分离装置及光刻机，涉及半导体加工设备领域，为解决现有的气液抽取分离装置无法满足光刻机不同工况下的气液抽取分离需求的问题而设计。该气液抽取分离装置用于光刻机，包括控制模块和多组气液抽取分离模块，多组气液抽取分离模块分别配置为抽取分离不同的气液混合体；气液抽取分离模块包括通过管路依次连接的真空吸附头、通断阀和气液分离箱，真空吸附头被配置为抽取气液混合体；控制模块被配置为控制气液抽取分离模块工作；气液分离箱被配置为对气液混合体进行气液分离。该光刻机包括上述气液抽取分离装置。本发明提供的气液抽取分离装置及光刻机满足了不同工况下的气液分离需求。

本发明授权一种气液抽取分离装置在权利要求书中公布了：1.一种气液抽取分离装置，其特征在于，用于光刻机，所述气液抽取分离装置包括控制模块（100）和气液抽取分离模块，多组所述气液抽取分离模块分别配置为抽取分离不同的气液混合体；其中，所述气液抽取分离模块包括通过管路依次连接的真空吸附头、通断阀和气液分离箱（400），所述真空吸附头被配置为抽取气液混合体；所述控制模块（100）被配置为控制各组所述气液抽取分离模块工作；所述气液分离箱（400）被配置为对所述气液混合体进行气液分离，各组所述气液抽取分离模块共用所述气液分离箱（400）；所述气液抽取分离模块设置有两组，分别为第一气液抽取分离模块和第二气液抽取分离模块，其中，所述第一气液抽取分离模块被配置为抽取分离所述光刻机的吸盘的残存浸没液及气泡，所述第二气液抽取分离模块被配置为抽取分离所述光刻机的桥接台的残存浸没液及气泡； 所述气液分离箱（400）包括具有容纳腔的箱体（410）和设置于所述容纳腔的隔板（420），所述隔板（420）将所述容纳腔分隔为相连通的第一腔室（430）和第二腔室（440），其中，各组所述气液抽取分离模块的管路出口与所述第一腔室（430）直接连通，所述隔板（420）位于由所述管路出口流出的气液混合体的流动路径上；所述第二腔室（440）连通有出气口和出液口（443），所述出气口位于所述出液口（443）的上方； 所述隔板（420）的两侧边分别与所述箱体（410）的两个侧壁相间隔，用于使所述第一腔室（430）内的气液混合体能够经所述隔板（420）的两侧流入所述第二腔室（440）；所述隔板（420）配置为被进入所述第一腔室（430）的所述气液混合体撞击以改变所述气液混合体的运动路径并实现气液两相的分离。

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