株式会社堀场STEC寺阪正训获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社堀场STEC申请的专利液体材料气化装置及其控制方法和程序存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112864049B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011361749.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权液体材料气化装置及其控制方法和程序存储介质是由寺阪正训;本间瞭一;费尔南德斯·亚历山大设计研发完成，并于2020-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本液体材料气化装置及其控制方法和程序存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供液体材料气化装置及其控制方法和程序存储介质。液体材料气化装置包括：控制阀1，设置于材料流体所流通的流道，所述材料流体为液体材料或液体材料气化得到的材料气体；压力传感器3，设置在比所述控制阀1更靠下游侧；流量传感器2，测定材料流体的流量；以及阀控制器4，对所述控制阀进行控制，以使设定压力与所述压力传感器测定的测定压力的偏差变小，并且使所述流量传感器测定的测定流量成为限制流量以下，所述限制流量为根据液体材料可气化的上限流量而设定的流量。
本发明授权液体材料气化装置及其控制方法和程序存储介质在权利要求书中公布了：1.一种液体材料气化装置，其特征在于，包括： 控制阀，设置于材料流体所流通的流道，所述材料流体为液体材料或液体材料气化得到的材料气体； 压力传感器，设置在比所述控制阀更靠下游侧； 流量传感器，测定材料流体的流量；以及 阀控制器，对所述控制阀进行控制，以使设定压力与所述压力传感器测定的测定压力的偏差变小，并且使所述流量传感器测定的测定流量成为限制流量以下，所述限制流量为根据液体材料可气化的上限流量而设定的流量， 所述阀控制器包括： 第一操作量算出部，根据测定流量与限制流量的偏差，算出作为所述控制阀的操作量的第一操作量； 第二操作量算出部，根据测定压力与设定压力的偏差，算出作为所述控制阀的操作量的第二操作量；以及 操作量决定部，比较第一操作量和第二操作量，并将任意一方的操作量输入所述控制阀， 或者所述阀控制器包括： 流量控制部，根据测定流量与设定流量的偏差，对所述控制阀进行控制；以及 流量设定部，以使测定压力与设定压力的偏差变小的方式，在所述流量控制部设定限制流量以下的设定流量。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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