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龙图腾网获悉AMT 株式会社申请的专利具有细小间距的器件测试装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114729964B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080083496.7，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权具有细小间距的器件测试装置及其方法是由金斗喆;李玩求设计研发完成，并于2020-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有细小间距的器件测试装置及其方法在说明书摘要公布了：将器件在具有多个真空孔的基座板上面依次装载的步骤；在器件装载到所述基座板上的状态下，随着真空压的施加，将装载的器件用可微微移动的真空压吸引的步骤；位于所述基座板上部的对准视觉组件向需对准的器件上部移动以后下降的步骤；所述对准区将器件包住的状态下，通过通孔和开口部用视觉确认器件的位置后，将坐标值传输给控制部的步骤；根据所述器件的坐标值，使基座板向X‑Y‑θ方向微微移动，将器件引至开口部的二面对准的步骤；在每次器件装载到基座板上面时，将基座板向X‑Y轴方向按每一间距移动同时，对器件实施对准。

本发明授权具有细小间距的器件测试装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种具有细小间距的器件对准装置，其特征在于，结构包括：基座（10），其具有垂直柱（11）；Y轴板（20），其在所述基座（10）的上面沿着Y轴方向可以按每一间距移动；基座板（40），其设置在所述Y轴板（20）的上面，器件（30）的安置地点分别形成真空孔，器件（30）被装载的状态下，随着真空压的施加，将装载的器件（30）用可微微移动的真空压吸引；基座板位置调节装置（50），其设置在所述Y轴板（20）的上面，根据装载于基座板（40）的器件（30）的位置，使基座板（40）向X-Y-θ方向微微移动；X轴板（60），其设置于所述基座（10）的垂直柱（11），沿着X轴方向按每一间距水平移动；Z轴板（71），其设置于所述X轴板（60），沿着Z轴升、降；视觉区（72），其设置于所述Z轴板（71），并设有通孔（72a）；对准区（73），其设置于所述视觉区（72）的下部，设有开口部（73a），可以包住被吸引至基座板（40）的器件（30）； 视觉（74），其设置于所述Z轴板（71）的上部，通过视觉区（72）的通孔（72a）及开口部（73a）确认被吸引至基座板（40）的器件（30）的位置后，将坐标值传输给控制部；对准区（73）根据被吸引至基座板（40）的器件（30）的坐标值下降，将器件（30）包住的状态下，通过基座板位置调节装置（50）将基座板（40）向X-Y-θ方向微微移动，进而对准器件（30）。

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