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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利一种硅片吸附单元及硅片传输装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112151435B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010973102.7，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种硅片吸附单元及硅片传输装置是由杜欣宇;金实;张利设计研发完成，并于2020-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片吸附单元及硅片传输装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种硅片吸附单元及硅片传输装置，涉及半导体制造装备技术领域，为解决现有硅片传输装置占用空间大的问题而设计。该硅片吸附单元包括定子组件和动子组件，定子组件包括基座，基座设置有导向部；动子组件包括移动部和吸附头，移动部与导向部插接配合，且移动部与导向部之间设置有用于限制二者相对转动的周向限位结构；吸附头固定设置于移动部，且二者沿移动部与导向部的插接方向排布。该硅片传输装置包括上述硅片吸附单元。本发明提供的硅片吸附单元及硅片传输装置省去了现有技术多吸盘一体式结构中设置于吸盘侧向的限制旋转结构，使得硅片吸附单元的整体结构紧凑。

本发明授权一种硅片吸附单元及硅片传输装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片吸附单元，其特征在于，包括定子组件和动子组件，所述定子组件包括基座（110），所述基座（110）设置有导向部，所述基座（110）包括底座（111）和固定设置于所述底座（111）的套筒（112），所述套筒（112）形成所述导向部；所述动子组件包括移动部和吸附头（220），所述移动部与所述导向部插接配合，且所述移动部与所述导向部之间设置有用于限制二者相对转动的周向限位结构；所述吸附头（220）固定设置于所述移动部，且二者沿所述移动部与所述导向部的插接方向排布； 所述定子组件还包括与所述基座（110）相对固定设置的线圈（120），所述动子组件还包括与所述移动部固定连接的磁钢（230），所述线圈（120）至少部分环绕所述磁钢（230）设置；所述移动部包括传动轴（210），所述传动轴（210）插接于所述套筒（112），所述吸附头（220）固定设置于所述传动轴（210），所述传动轴（210）的内部设有容纳腔，所述磁钢（230）位于所述容纳腔中，所述传动轴（210）的内腔设置有台阶，所述磁钢（230）的一端与所述台阶相抵；所述线圈（120）环绕所述传动轴（210）设置。

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