三星显示有限公司苏炳洙获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利退火装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110828333B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910732929.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权退火装置是由苏炳洙;高仁哲;白种埈;郑在佑设计研发完成，并于2019-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本退火装置在说明书摘要公布了：本发明涉及退火装置。退火装置包括：被配置为容纳基板的主体；被配置为产生要被传输到主体的微波的微波产生单元；被配置为将微波从微波产生单元传输到主体的入射单元；以及布置在入射单元与主体之间的衍射单元。衍射单元被配置为在微波被传输到主体之前使微波穿过衍射单元。
本发明授权退火装置在权利要求书中公布了：1.一种退火装置，包括： 被配置为容纳基板的主体； 被配置为产生要被传输到所述主体的微波的微波产生单元； 被配置为将所述微波从所述微波产生单元传输到所述主体的入射单元；以及 布置在所述入射单元与所述主体之间的衍射单元，所述衍射单元被配置为在所述微波被传输到所述主体之前使所述微波穿过所述衍射单元， 其中，所述衍射单元包括用于衍射所述微波的多个狭缝，所述多个狭缝中的每一个具有矩形形状，所述矩形形状具有宽度和小于所述宽度的高度，并且所述高度略大于所述微波的波长以产生衍射效果，所述宽度为180mm或更大并且220mm或更小，并且所述高度为45mm或更大并且65mm或更小， 其中，所述入射单元的四个侧表面由从所述衍射单元的每个边缘在垂直方向上延伸并偏向内部的同时倾斜地延伸的表面组成，并且所述入射单元包括开口，所述开口的宽度在从所述微波产生单元朝向所述衍射单元延伸的方向上变宽， 其中，所述微波产生单元包括双磁控管以产生具有50mm的波长的微波，并且 其中，所述主体包括形成在所述主体的内表面上的漫反射结构，所述漫反射结构具有包括突起和凹陷的结构，并且所述包括突起和凹陷的结构具有54mm或更大并且66mm或更小的间距值。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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