精工爱普生株式会社田中悟获国家专利权
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龙图腾网获悉精工爱普生株式会社申请的专利物理量及复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115327165B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210946801.1,技术领域涉及:G01P15/08;该发明授权物理量及复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体是由田中悟设计研发完成,并于2018-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本物理量及复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体在说明书摘要公布了:一种物理量及复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体,抗冲击性优异且提高了可靠性。物理量传感器具备:可动体,包括梁部、与梁部连接并沿与梁部交叉的交叉方向设置的连结部以及与连结部连接的第一、第二质量部;第一、第二固定电极,设置于支承基板上,与第一、第二质量部相对;以及突起,设置于设有第一、第二固定电极的区域,从支承基板朝向第一、第二质量部突出,在交叉方向上,当将从连结部与第一、第二质量部的连接位置到第一、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L,且将从突起到第一、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L1时,距离L1为0.18L以上0.88L以下。
本发明授权物理量及复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体在权利要求书中公布了:1.一种物理量传感器,其特征在于, 将相互正交的三轴设为X轴、Y轴以及Z轴时, 所述物理量传感器具备: 支承基板; 可动体,在沿着Z轴的Z轴方向上与所述支承基板相对,包括第一质量部、第二质量部以及连结所述第一质量部和所述第二质量部的连结部,并设置为能够以沿着所述Y轴的旋转轴为中心相对于所述支承基板摆动; 第一固定电极,设置于所述支承基板的与所述第一质量部相对并重叠的第一区域; 第二固定电极,设置于所述支承基板的与所述第二质量部相对并重叠的第二区域; 第一突起,设置于所述第一区域;以及 第二突起,设置于所述第二区域, 在沿着所述X轴的X轴方向上, 当将从所述连结部与所述第一质量部的连接位置到所述第一质量部的与所述旋转轴相反一侧的端部的距离设为L,且将从所述第一突起到所述第一质量部的与所述旋转轴相反一侧的端部的距离、从所述第二突起到所述第二质量部的与所述旋转轴相反一侧的端部的距离分别设为L1时,满足0.18L≤L1≤0.88L, 所述第一突起以及所述第二突起相对于在沿着所述Y轴的Y轴方向上将所述可动体二等分的中心线呈线对称配置,且相对于所述旋转轴的旋转中心配置于线对称的位置。
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