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龙图腾网获悉无锡尚积半导体科技股份有限公司申请的专利PVD磁控器及PVD设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120311155B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510798258.9，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权PVD磁控器及PVD设备是由张超;张陈斌;欧阳军晨;葛青涛;宋永辉;王世宽设计研发完成，并于2025-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本PVD磁控器及PVD设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种PVD磁控器及PVD设备，PVD磁控器包括密封腔室，所述密封腔室具有冷却液入口和冷却液出口，所述密封腔室内设置有：转盘，绕其自身轴线转动，所述转盘的底部以其轴线为中心旋转设置有若干叶片，所述转盘的底部用于连接磁控组件；其中，所述冷却液入口能够与任一个所述叶片的侧面相对。采用叶片在冷却液的冲击下带动转盘转动，无需额外电能转化，利用系统原有冷却液的流动能使设备能耗降低，不仅动力传递延迟更小，还没有电气故障、机械部件失效引发的设备停机风险，提升系统可靠性与连续运行时长；PVD设备包括上述PVD磁控器。

本发明授权PVD磁控器及PVD设备在权利要求书中公布了：1.一种PVD磁控器，其特征在于，包括密封腔室（10），所述密封腔室（10）具有冷却液入口（10a）和冷却液出口（10b），所述密封腔室（10）内设置有： 转盘（110），绕其自身轴线转动，所述转盘（110）的底部以其轴线为中心旋转设置有若干叶片（111），所述转盘（110）的底部用于连接磁控组件，所述冷却液入口（10a）能够与任一个所述叶片（111）的侧面相对； 所述磁控组件包括： 安装块（120），沿所述转盘（110）的轴线固定在所述转盘（110）的底部； 第一面板（130），固定在所述安装块（120）的底部； 转轴（140），与所述转盘（110）的轴线平行、转动连接于所述第一面板（130）的一端； 第二面板（150），平行设置在所述第一面板（130）下方、与所述转轴（140）转动连接； 磁体（160）和配重块（170），分布在所述转轴（140）的两侧、分别固定在所述第二面板（150）底部，所述磁体（160）对应所述第一面板（130）的另一端； 其中，所述第一面板（130）的两侧分别设置有第一限位（130a）和第二限位（130b），所述第一限位（130a）位于安装块（120）远离转轴（140）的一侧，所述第二限位（130b）位于安装块（120）靠近转轴（140）的一侧，所述第二面板（150）能够在所述第一限位（130a）和所述第二限位（130b）之间摆动。

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