江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利晶圆涂覆装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120286277B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510781595.7，技术领域涉及：B05C3/10；该发明授权晶圆涂覆装置及其控制方法是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆涂覆装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆涂覆装置及其控制方法。包括：涂覆腔室；夹持组件，夹持晶圆，并带动晶圆以预设角度倾斜的方式浸入至涂覆液中，在晶圆浸没于涂覆液后带动晶圆进入水平状态；供液组件；包括位于夹持组件下方的第一供液件和第二供液件，第一供液件包括沿涂覆腔室的周侧向内延伸的第一方向供液的第一供液口；第二供液件包括沿涂覆腔室的底端向上延伸的第二方向供液的第二供液口；控制部件，用于控制夹持组件和供液组件；在晶圆浸入至涂覆液的过程中，控制第一供液口和第二供液口的液体流速分别为第一预设流速和第二预设流速；晶圆进入水平状态后，控制第一供液口和第二供液口的液体流速均为第一预设流速。本申请的技术方案，能提高涂覆质量。
本发明授权晶圆涂覆装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆涂覆装置，其特征在于，包括： 涂覆腔室，用于容纳涂覆液； 夹持组件，被配置为夹持晶圆，并带动所述晶圆以预设角度倾斜的方式浸入至所述涂覆液中，在所述晶圆浸没于涂覆液后带动所述晶圆进入水平状态； 供液组件，用于向涂覆腔室内增加涂覆液；包括位于所述夹持组件下方的第一供液件和第二供液件，所述第一供液件包括沿所述涂覆腔室的周侧向内延伸的第一方向供液的第一供液口；所述第二供液件包括沿所述涂覆腔室的底端向上延伸的第二方向供液的第二供液口； 控制部件，用于控制所述夹持组件和所述供液组件；在所述晶圆浸入至涂覆液的过程中，控制所述第一供液口和所述第二供液口的液体流速分别为第一预设流速和第二预设流速；所述晶圆进入水平状态后，控制所述第一供液口和所述第二供液口的液体流速均为第一预设流速；第二预设流速大于所述第一预设流速。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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