季华实验室汪伟获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利基于双光梳面域扫频的表面形貌检测方法、系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120252573B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510758017.1，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权基于双光梳面域扫频的表面形貌检测方法、系统是由汪伟;罗卓军;李宣令;徐成;张海裕;李磊;毕海设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于双光梳面域扫频的表面形貌检测方法、系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种基于双光梳面域扫频的表面形貌检测方法、系统，涉及表面形貌检测的技术领域。在本申请中，利用面域扫频使得双光梳实现扫频功能，从而使得可高精度测距的双光梳光源能被应用在干涉光路中以实现面阵测距成为可能。以此，使用双光梳扫频取代传统光源扫频，利用双光梳多外差干涉结合面域扫频，极大提高纵向深度的测量精度，进而提高基于纵向深度的三维重建时的精度，实现突破微米级、达到亚纳米级的超高分辨率，实际上，可实现纵向分辨率≤0.1nm的原子级表面形貌检测。
本发明授权基于双光梳面域扫频的表面形貌检测方法、系统在权利要求书中公布了：1.一种基于双光梳面域扫频的表面形貌检测方法，其特征在于，所述基于双光梳面域扫频的表面形貌检测方法包括： 将第三半透半反镜作为偏振合束器，并将双光梳光源各自的光束经过所述第三半透半反镜，使得双光梳光源各自的光束具备正交的偏振态，得到正交偏振态的第一光束； 将通过面域扫频模块动态调整所述第一光束的波长得到的扫频光束，依次经过用于光波调制的空间光调制模块和用于调整光强分布的光束整形模块形成理想出射光束，并将所述理想出射光束作为第二光束，其中，动态调整所述第一光束的波长即为扫频； 将所述第二光束偏振分束为参考光束和样品光束，其中，所述样品光束通过微透镜阵列同时聚束到待测样品后的回光与所述参考光束合束形成合束光束，并通过光电探测器探测所述合束光束，得到双光梳多外差干涉信号，所述双光梳多外差干涉信号为双光梳各自对应的干涉信号； 基于所述双光梳多外差干涉信号确定所述待测样品的测距距离，所述测距距离为所述待测样品表面与预设标准平面之间的距离； 将所述测距距离作为所述待测样品的一维深度信息，并基于所述一维深度信息检测所述待测样品的表面形貌。
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