浙江众凌科技有限公司王凤姣获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利一种提升金属掩膜版直线度的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120255262B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510757922.5，技术领域涉及：G03F1/38；该发明授权一种提升金属掩膜版直线度的方法是由王凤姣;管金榜;吴佩艳;王志欣;吴焰设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提升金属掩膜版直线度的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及显示技术领域，提供了一种提升金属掩膜版直线度的方法，包括：测量多条样品掩膜版的多个指定点位的像素位置精度偏差；选择多个指定点位的X坐标作为自变量，Y坐标及Y向偏差之和作为因变量进行拟合，或者，选择多个指定点位的Y坐标作为自变量，X坐标及X向偏差之和作为因变量进行拟合，得到拟合表达式；在制造目标产品时，计算出目标产品的像素开口点位的理论坐标值所需的补偿值，将目标产品的光罩设计版图中的像素开口点位的理论坐标值替换为经过补偿的实际坐标值，采用补偿后光罩设计版图曝光制造金属掩膜版，解决因原材版型较差导致的金属掩膜版直线度差，产品良率差且成本浪费的技术问题。
本发明授权一种提升金属掩膜版直线度的方法在权利要求书中公布了：1.一种提升金属掩膜版直线度的方法，其特征在于，包括： 测量多条样品掩膜版的多个指定点位的像素位置精度偏差，所述像素位置精度偏差包括X向偏差及Y向偏差； 选择所述多个指定点位的X坐标作为自变量，Y坐标及Y向偏差之和作为因变量进行拟合，或者，选择所述多个指定点位的Y坐标作为自变量，X坐标及X向偏差之和作为因变量进行拟合，得到拟合表达式； 将目标产品的光罩设计版图中像素开口点位的第一方向的理论坐标值带入所述拟合表达式得到第二方向的拟合坐标值，通过所述拟合坐标值减去第二方向的理论坐标值得到补偿值，其中，所述第一方向为X向时，所述第二方向为Y向，所述第一方向为Y向时，所述第二方向为X向； 取所述像素开口点位的补偿值的负值加上所述第二方向的理论坐标值得到实际坐标值，将所述光罩设计版图中所述第二方向的理论坐标值替换为实际坐标值。
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