蓝河科技(绍兴)有限公司刘永明获国家专利权
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龙图腾网获悉蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利喷淋装置和半导体生长设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120272881B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510756691.6，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权喷淋装置和半导体生长设备是由刘永明;周慧娟;张伟设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷淋装置和半导体生长设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种喷淋装置和半导体生长设备。喷淋装置包括设有至少一进气部的盖体，以及设于所述盖体以与所述盖体之间以形成有扩散腔的喷淋件。在扩散腔内可拆卸设置至少一隔离部，将扩散腔分为至少二气室，即可以根据对气室的需求灵活设置不同数量的隔离部，隔离部包括若干个插接单元，通过各插接单元相互之间的依次首尾可拆卸相接还可以灵活改变气室的喷淋面积，这样可根据不同工艺需求调整各气室喷淋区域。
本发明授权喷淋装置和半导体生长设备在权利要求书中公布了：1.一种喷淋装置，其特征在于，包括： 盖体100，设有至少一进气部； 喷淋件200，设于所述盖体100以与所述盖体100之间形成有扩散腔300，所述扩散腔300连通各所述进气部，并通过所述喷淋件200与外部相通； 至少一隔离部400，可拆卸设于所述盖体100和所述喷淋件200之间，将所述扩散腔300分为至少二气室； 所述隔离部400包括若干个插接单元410，若干个所述插接单元410依次首尾可拆卸相接形成闭合结构。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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