浙江众凌科技有限公司武田博获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利高精密度金属掩膜版的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120272921B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510757918.9，技术领域涉及：C23C22/50；该发明授权高精密度金属掩膜版的制备方法是由武田博;马营明;徐华伟;沈询设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本高精密度金属掩膜版的制备方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种OLED显示面板制作中使用的高精密度金属掩膜版的制备方法，包括：在镍铁合金样品的表面形成氧化膜的步骤。通过超声清洗后对镍铁合金样品进行碱处理，可以在镍铁合金的表面形成以四氧化三铁和氧化镍为主的氧化膜。该氧化膜中四氧化三铁比例更高，结构更均一。氧化膜的结构可以有效阻隔氧气、水分渗透，可以使得镍铁合金样品在静置储存、运输、清洗等过程中保持表面完好。对镍铁合金样品并进行超声清洗和碱处理的步骤可以在金属厂生产制造镍铁合金后即刻进行；也可以在高精密度金属掩膜版制造厂购买镍铁合金后运输至FMM制造厂后即刻进行。
本发明授权高精密度金属掩膜版的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种OLED显示面板制作中使用的高精密度金属掩膜版的制备方法，包括： S01，原材料准备与前处理，提供可进行后续处理的镍铁合金样品； 其特征在于，S01，原材料准备与前处理，包括： 提供镍铁合金样品，并对其进行超声清洗； 对超声清洗后的镍铁合金样品采用包括NaOH的溶液进行碱处理，碱处理包括：预处理、中段处理和后处理，三个处理阶段中NaOH的浓度分别为C预、C中段、C后；三个处理阶段中的处理温度分别为T预、T中段、T后；三个处理阶段中反应时间分别为t预、t中段、t后，且满足： C中段＞C预＞C后；T中段＞T预＞T后；t中段＞t预＞t后；以及， 对所述碱处理后的镍铁合金样品进行钝化处理，以形成氧化膜，所述氧化膜包括氧化镍和四氧化三铁。
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