帝京半导体科技(苏州)有限公司黎纠获国家专利权
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龙图腾网获悉帝京半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种半导体设备用双L型门阀获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120251736B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510751985.X,技术领域涉及:F16K3/02;该发明授权一种半导体设备用双L型门阀是由黎纠;段宇;金埈焕;李宰明;孙志开设计研发完成,并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备用双L型门阀在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体设备用双L型门阀,涉及门阀领域,包括阀体,所述阀体上固定安装有阀座,所述阀体上上下对称固定有驱动组件用于调节第一调节机构的位置;第一调节机构,用于控制阀板沿“L”型路径进行移动,所述第一调节机构与驱动组件相互连接,所述第一调节机构与阀板相互连接,所述第一调节机构关于阀体的中轴线为上下对称分布。该半导体设备用双L型门阀,采用双“L”型移动的阀板结构,既可以实现阀板上密封圈在不接触阀座的情况下进行上下移动,从而避免密封圈与阀座摩擦损坏,进而提高密封圈的使用寿命,又可以避免密封圈磨损产生碎屑而影响后续半导体加工的进行,保证半导体加工时的洁净度。
本发明授权一种半导体设备用双L型门阀在权利要求书中公布了:1.一种半导体设备用双L型门阀,包括阀体,所述阀体上固定安装有阀座,其特征在于,所述阀体上上下对称固定有用于调节第一调节机构的位置的驱动组件; 第一调节机构,用于控制阀板沿L型路径进行移动,所述第一调节机构与驱动组件相互连接,所述第一调节机构与阀板相互连接; 第二调节组件,用于控制阀板的展出与收纳,所述第二调节组件与阀板相互连接,所述第二调节组件前后对称设置在第一调节机构内; 所述阀体上固定安装有凸台,且凸台内上下对称设置有用于收纳的第一调节机构的收纳槽,并且阀体上还左右对称开设有用于导向限位的L型导向槽;所述第一调节机构包括与阀体之间为滑动连接的活动板,且活动板上左右对称固定有滑杆,并且滑杆嵌套在L型导向槽内进行滑动,所述活动板上靠近输出轴的一侧固定有竖板,且竖板上开设有滑槽,并且滑槽有斜面槽竖向槽组成,同时滑槽与凸轴之间为滑动连接,所述凸轴左右对称固定在安装板上,且安装板固定在输出轴端部,所述阀座上还上下对称开设有阀孔,且阀孔与阀板之间为一一对应分布,所述阀板与活动板之间为滑动连接,且阀板上靠近阀座的一侧固定有环形结构的密封圈,并且密封圈与阀座配合实现密封,同时密封圈的材质为氟橡胶,所述密封圈的尺寸大于阀孔的尺寸,所述第二调节组件包括前后对称固定在活动板内的固定板,且固定板上滑动连接有导向杆,并且导向杆与阀板之间为固定连接,所述导向杆的端部与连接杆的一端为转动连接,且连接杆的另一端转动连接在顶杆上,并且顶杆下端安装有可滚动的滚珠,同时滚珠与凸台接触可滚动,所述顶杆与活动板之间为滑动连接。
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