苏州亿波达微系统技术有限公司张裕华获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州亿波达微系统技术有限公司申请的专利双轴MEMS陀螺仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120252670B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510741237.3,技术领域涉及:G01C19/5677;该发明授权双轴MEMS陀螺仪是由张裕华;朱泽华;徐良设计研发完成,并于2025-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本双轴MEMS陀螺仪在说明书摘要公布了:本发明涉及一种双轴MEMS陀螺仪,包括衬底机构、锚点机构、运动机构及电极机构,锚点机构固设于衬底机构上,运动机构包括驱动框、质量块单元、换向单元、传递单元以及耦合单元,四个驱动框围绕陀螺中心均布设置,其中两个驱动框设于45度方向上,另两个驱动框设于135度方向上,四个质量块单元围绕陀螺中心均布设置,其中两个质量块单元设于0度方向上,另两个质量块单元设于90度方向上,质量块单元包括沿其所在方向的垂直方向依次设置的两个质量模块,质量模块包括科氏力质量块,换向单元包括两个杠杆部件,传递单元包括两根外传递梁。本发明能够提高陀螺仪的鲁棒性、抗角振动及抗过载性能和降低陀螺仪的轴间串扰。
本发明授权双轴MEMS陀螺仪在权利要求书中公布了:1.一种双轴MEMS陀螺仪,其特征在于,包括衬底机构、固设于衬底机构上的锚点机构、可运动连接锚点机构的运动机构及驱动和检测运动机构的电极机构,运动机构包括: 四个驱动框,围绕陀螺中心均布设置,其中两个驱动框对称设于45度方向上,另两个驱动框对称设于135度方向上,驱动框通过第一弹簧梁连接锚点机构,驱动框具有沿其所在方向面内往复平移的自由度; 四个质量单元,围绕陀螺中心均布设置,其中两个质量单元对称设于0度方向上,另两个质量单元对称设于90度方向上,质量单元包括沿其所在方向的垂直方向依次设置的两个质量模块,质量模块包括质量块,质量块各自通过第二弹簧梁连接锚点机构,质量块具有绕z轴方向面内往复摆动、绕x轴方向面外往复摆动及绕y轴方向面外往复摆动的自由度,同一质量单元的两个质量模块通过设于二者之间的第一耦合弹簧连接; 四个换向单元,分别与四个驱动框对应设置,换向单元包括两个杠杆,两个杠杆分别设于对应的驱动框的运动轨迹的两侧,杠杆通过第三弹簧梁连接锚点机构,杠杆具有绕z轴方向面内往复摆动的自由度,杠杆的一端解耦连接与其对应的驱动框,杠杆包括互成夹角连接的第一力臂段和第二力臂段,第一力臂段位于对应的驱动框背离质量单元的一侧,第二力臂段位于对应的驱动框朝向质量单元的一侧,第一力臂段与第二力臂段的相交处连接第三弹簧梁,第一力臂段远离第三弹簧梁的端部通过第一解耦弹簧连接驱动框背离陀螺中心的端部,第二力臂段远离第三弹簧梁的端部通过第二解耦弹簧连接与其相邻的外传递梁,外传递梁通过第三解耦弹簧连接与其对应的质量块; 四个传递单元,分别与四个质量单元对应设置,传递单元包括两根外传递梁,两根外传递梁分别设于对应的质量单元的两个质量模块背离陀螺中心的一侧,同一传递单元的两个外传递梁通过设于二者之间的第二耦合弹簧连接,第二耦合弹簧通过第四弹簧梁连接锚点机构,外传递梁具有沿其所在方向的垂直方向面内往复平移的自由度,外传递梁解耦连接其陀螺仪中心侧的质量块和与其相邻的杠杆; 耦合单元,包括耦合框和耦合环,耦合框设于四个质量单元之间,耦合环嵌套在耦合框内,耦合框通过第五弹簧梁连接耦合环,耦合环通过第六弹簧梁连接锚点机构,耦合框具有绕x轴方向旋转的自由度,耦合环具有绕y轴方向旋转的自由度,耦合框解耦连接四个质量单元。
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