北京特思迪半导体设备有限公司汪岳鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利谱学测量数据中重叠峰的识别方法、厚度测量方法及设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120234593B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510727446.2,技术领域涉及:G06F18/213;该发明授权谱学测量数据中重叠峰的识别方法、厚度测量方法及设备是由汪岳鹏;蒋继乐设计研发完成,并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本谱学测量数据中重叠峰的识别方法、厚度测量方法及设备在说明书摘要公布了:本发明提供一种谱学测量数据中重叠峰的识别方法、厚度测量方法及设备,涉及数据处理技术领域。该方法包括:获取目标谱学测量数据;对目标谱学测量数据进行峰值检测,得到主峰识别结果;基于主峰识别结果识别第二峰值与主峰峰值的相对位置;基于目标谱学测量数据及相对位置确定自变量范围,并生成包含主峰峰值的半边测量结果;使用自定义函数对半边测量结果进行拟合,得到第一拟合函数,第一拟合函数中包含主峰位置;将目标谱学测量数据中的全局自变量代入第一拟合函数,得到第一拟合结果;基于目标谱学测量数据及第一拟合结果得到第二峰数据;使用自定义函数对第二峰数据进行拟合,得到第二拟合函数,第二拟合函数中包含第二峰位置。
本发明授权谱学测量数据中重叠峰的识别方法、厚度测量方法及设备在权利要求书中公布了:1.一种谱学测量数据中重叠峰的识别方法,其特征在于,包括: 获取目标谱学测量数据;所述目标谱学测量数据中包含所述重叠峰的数据,所述重叠峰包括主峰及第二峰; 对所述目标谱学测量数据进行峰值检测,得到主峰识别结果; 基于所述目标谱学测量数据及主峰识别结果确定自变量范围,并生成包含所述主峰峰值的半边测量结果; 使用自定义函数对所述半边测量结果进行拟合,得到第一拟合函数,所述第一拟合函数中包含主峰位置; 将所述目标谱学测量数据中的全局自变量代入所述第一拟合函数,得到第一拟合结果; 基于所述目标谱学测量数据及第一拟合结果得到第二峰数据; 使用所述自定义函数对所述第二峰数据进行拟合,得到第二拟合函数,所述第二拟合函数中包含第二峰位置。
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