Document
拖动滑块完成拼图
个人中心

预订订单
服务订单
发布专利 发布成果 人才入驻 发布商标 发布需求

在线咨询

联系我们

龙图腾公众号
首页 专利交易 IP管家助手 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索
当前位置 : 首页 > 专利喜报 > 北京特思迪半导体设备有限公司汪岳鹏获国家专利权

北京特思迪半导体设备有限公司汪岳鹏获国家专利权

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利峰值提取方法、厚度测量方法及设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120234595B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510730068.3,技术领域涉及:G06F18/213;该发明授权峰值提取方法、厚度测量方法及设备是由汪岳鹏;蒋继乐设计研发完成,并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。

峰值提取方法、厚度测量方法及设备在说明书摘要公布了:本发明提供一种峰值提取方法、厚度测量方法及设备。应用于高精度测量领域。该方法包括:获取晶圆的一帧光谱信号;根据预设强度阈值对当前帧光谱信号进行峰提取;当提取到一个峰时,确定峰的峰值为主峰峰值;获取厚度猜测值;利用厚度方程根据所述厚度猜测值和主峰峰值反向求解得到次峰峰值;将所述主峰峰值和所述次峰峰值作为双峰pseudoVoigt拟合方程的初始猜测值,对当前帧光谱信号进行拟合,得到当前帧光谱信号的主峰峰值和次峰峰值。本发明成功解决了初始猜测缺失以及两峰接近导致次峰位置难以准确识别的问题,能够准确拟合出一帧光谱信号的主峰峰值和次峰峰值。

本发明授权峰值提取方法、厚度测量方法及设备在权利要求书中公布了:1.一种峰值提取方法,其特征在于,包括: 获取晶圆的一帧光谱信号; 根据预设强度阈值对当前帧光谱信号进行峰提取; 当提取到一个峰时,确定峰的峰值为主峰峰值; 获取厚度猜测值; 利用厚度方程根据所述厚度猜测值和主峰峰值反向求解得到次峰峰值; 将所述主峰峰值和所述次峰峰值作为双峰pseudoVoigt拟合方程的初始猜测值,对当前帧光谱信号进行拟合,得到当前帧光谱信号的主峰峰值和次峰峰值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京特思迪半导体设备有限公司,其通讯地址为:101300 北京市顺义区杜杨北街3号院6号楼(顺创);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。