深圳市罗博威视科技有限公司梅爽获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉深圳市罗博威视科技有限公司申请的专利切割后晶圆检测方法、装置、计算机设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120219379B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510685857.X,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权切割后晶圆检测方法、装置、计算机设备及存储介质是由梅爽;李明炜;华凯;王祥铜;胡彦潮设计研发完成,并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本切割后晶圆检测方法、装置、计算机设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明涉及一种切割后晶圆检测方法、装置、计算机设备及存储介质,所述方法包括:采用大视野拍摄,获得完整晶圆照片;根据完整晶圆照片,获取由晶圆被切割而成的多个die之间的分隔点;根据分隔点,获取拍摄轨迹;根据拍摄轨迹,采用小视野拍摄以获取多张局部晶圆照片;根据局部晶圆照片,识别角点;根据拍摄轨迹和角点,获取每张局部晶圆照片所属的die;根据每张局部晶圆照片所属的die,将局部晶圆照片分割,获取分割照片;根据拍摄轨迹和局部晶圆照片的尺寸,获取相邻局部晶圆照片的重叠像素;根据拍摄轨迹和重叠像素,将属于目标die的分割照片和局部晶圆照片拼接为目标die完整图。本发明可以将局部晶圆照片拼接为目标die完整图,且节约资源。
本发明授权切割后晶圆检测方法、装置、计算机设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种切割后晶圆检测方法,其特征在于,所述方法包括: 采用大视野拍摄,以获得完整晶圆照片; 根据所述完整晶圆照片,获取由晶圆被切割而成的多个die之间的分隔点; 根据所述分隔点,获取拍摄轨迹; 根据所述拍摄轨迹,采用小视野拍摄以获取多张局部晶圆照片; 根据所述局部晶圆照片,识别角点; 根据所述拍摄轨迹和所述角点,获取每张所述局部晶圆照片所属的die; 根据每张所述局部晶圆照片所属的die,将所述局部晶圆照片分割,以获取分割照片; 所述根据所述拍摄轨迹和所述局部晶圆照片的尺寸,获取相邻所述局部晶圆照片的重叠像素; 根据所述拍摄轨迹和所述重叠像素,将属于目标die的分割照片和属于所述目标die的局部晶圆照片拼接为目标die完整图,以对所述切割后晶圆进行检测; 其中,每张所述局部晶圆照片的尺寸小于一个完整die的尺寸; 所述根据所述拍摄轨迹和所述局部晶圆照片的尺寸,获取相邻所述局部晶圆照片的重叠像素,包括: 获取所述拍摄轨迹中的相邻拍摄点位之间的点位距离, 根据所述点位距离和所述局部晶圆照片的尺寸,获取所述重叠像素, 其中,所述重叠像素包括X轴重叠像素和Y轴重叠像素; 所述根据所述拍摄轨迹和所述重叠像素,将属于目标die的分割照片和属于所述目标die的局部晶圆照片拼接为目标die完整图,以对所述切割后晶圆进行检测,包括: 将所述属于目标die的分割照片和属于所述目标die的局部晶圆照片作为待拼接图像, 获取所述拍摄点位在所述待拼接图像中的位置作为拍摄位置; 根据所述拍摄轨迹和所述拍摄位置,获取每个所述拍摄点位在小视野坐标系下的点位坐标, 根据所述局部晶圆照片尺寸、所述点位坐标和所述拍摄位置,获取每张所述待拼接图像的坐标范围, 根据角点坐标,获取所述目标die完整图的坐标范围, 根据所述待拼接图像的坐标范围和所述目标die完整图的坐标范围,获取seg位置, 根据所述seg位置,将所述待拼接图像拼接为所述目标die完整图, 其中,所述seg位置用于指示所述待拼接图像中的部分die区域相对于所述目标die完整图的位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市罗博威视科技有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市光明区光明街道碧眼社区华强创意公园5栋C座1301;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。