浙江求是创芯半导体设备有限公司曹建伟获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江求是创芯半导体设备有限公司申请的专利束流参数处理方法、装置、电子设备、存储介质及产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120145877B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510608296.3，技术领域涉及：G06F30/27；该发明授权束流参数处理方法、装置、电子设备、存储介质及产品是由曹建伟;沈文杰;戴松乔;俞之洁;吴尽;芮志仲;沈加富;汤承伟设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本束流参数处理方法、装置、电子设备、存储介质及产品在说明书摘要公布了：本发明公开了束流参数处理方法、装置、电子设备、存储介质及产品。束流参数处理方法包括：将期望的束流状态值输入参数预测模型，得到离子注入机中至少一个第一元器件的预测参数值，预测参数值包括为达到束流状态所对应第一元器件的数值所需达到的参数值；针对每个第一元器件，将第一元器件所对应的预测参数值和第一元器件当前状态下的当前参数值输入至第一元器件所对应的时间关联模型，得到第一元器件的一组爬坡数据；针对每个第一元器件，将所对应的一组爬坡数据，依次设定至第一元器件，直至第一元器件达到所对应的预测参数值。避免由当前参数值设定至预测参数值造成第一元器件寿命降低，甚至造成损坏。提升了第一元器件参数值设定的安全性。
本发明授权束流参数处理方法、装置、电子设备、存储介质及产品在权利要求书中公布了：1.一种束流参数处理方法，其特征在于，包括： 将期望的束流状态值输入参数预测模型，得到离子注入机中至少一个第一元器件的预测参数值，所述预测参数值包括为达到所述束流状态值所对应第一元器件的数值所需达到的参数值； 针对每个第一元器件，将所述第一元器件所对应的预测参数值和所述第一元器件当前状态下的当前参数值输入至所述第一元器件所对应的时间关联模型，得到所述第一元器件的一组爬坡数据； 针对每个所述第一元器件，将所对应的一组爬坡数据，依次设定至所述第一元器件，直至所述第一元器件达到所对应的预测参数值，所述第一元器件从所对应当前参数值逐步调节至所对应预测参数值。
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