长春智冉光电科技有限公司张奔雷获国家专利权
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龙图腾网获悉长春智冉光电科技有限公司申请的专利一种带高精度快拆促动器的深紫外波前校正镜装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120143384B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510601623.2,技术领域涉及:G02B7/00;该发明授权一种带高精度快拆促动器的深紫外波前校正镜装置是由张奔雷;王富国;孙滢博;王贺;顾仁龙设计研发完成,并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带高精度快拆促动器的深紫外波前校正镜装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种带高精度快拆促动器的深紫外波前校正镜装置,属于深紫外波前校正镜装置技术领域,包括镜体、镜室、若干促动器以及连接组件,连接组件包括由镜体向驱动器方向依次设置的连接头、支撑件、板簧、转接头以及电磁吸附模块,促动器和镜室之间设置有安装座。该带高精度快拆促动器的深紫外波前校正镜装置,通过控制电磁吸附模块电路的通断,对转接头进行吸附或释放,以快速地通过对接单元完成促动器与镜体的连接与分离,且对接单元为促动器的安装提供了稳定可靠的安装环境,整体有效提高促动器拆卸维护以及安装的便利度以及可重复安装的精度和效率,进而有效提高了光学系统长期运行的稳定性与可靠性。
本发明授权一种带高精度快拆促动器的深紫外波前校正镜装置在权利要求书中公布了:1.一种带高精度快拆促动器的深紫外波前校正镜装置,包括镜体、镜室以及若干促动器,其特征在于:还包括将促动器安装在镜室上并与镜体稳定连接的连接组件,所述连接组件包括由镜体向促动器方向依次设置的连接头、支撑件、转接体、板簧、转接头以及电磁吸附模块; 所述连接头连接在镜体的背面,支撑件安装在镜室上且在轴向上具有弹性形变能力; 转接体与连接头之间连接有轴向紧固件,轴向紧固件穿过支撑件将连接头、支撑件以及转接体连接在一起; 板簧两端分别与转接体和转接头固定连接,且板簧在垂直于其轴向的两个方向具备柔性; 连接头、支撑件、转接体、板簧以及转接头连接在一起构成稳定的对接单元; 电磁吸附模块安装在促动器上,且电磁吸附模块通电吸附转接头,使促动器与对接单元连接并通过对接单元与镜体稳定连接,电磁吸附模块断电释放转接头,促动器与对接单元断开连接; 促动器和镜室之间设置有安装座,通过解除安装座与镜室的连接并切断电磁吸附模块的电源,实现促动器的快速拆卸; 所述电磁吸附模块包括电磁铁以及连接件,所述连接件与促动器以及安装座与促动器均以粘接方式固定连接,连接件与电磁铁以螺纹连接的方式连接; 所述板簧为二维X柔性板簧。
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