苏州大学杨新波获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州大学申请的专利电子钝化接触结构、制备方法及太阳能电池获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119997671B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510476310.9，技术领域涉及：H10F77/30；该发明授权电子钝化接触结构、制备方法及太阳能电池是由杨新波;周俊;张晓宏设计研发完成，并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子钝化接触结构、制备方法及太阳能电池在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造领域，具体地说，是涉及一种电子钝化接触结构、制备方法及太阳能电池。该电子钝化接触结构包括依次层叠设置的硅衬底、隧穿层和二氧化钛层，所述二氧化钛层包括沿厚度方向设置的第一二氧化钛子层和第二二氧化钛子层；所述二氧化钛层通过原子层沉积工艺连续沉积形成第一二氧化钛子层和第二二氧化钛子层，其中，所述第一二氧化钛子层为非晶结构，所述第二二氧化钛子层为晶态结构。
本发明授权电子钝化接触结构、制备方法及太阳能电池在权利要求书中公布了：1.一种电子钝化接触结构的制备方法，其特征在于，包括： 提供硅衬底； 在所述硅衬底上形成隧穿层； 通过原子层沉积工艺连续沉积形成第一二氧化钛子层和第二二氧化钛子层，以最终形成一个整体二氧化钛层；所述第一二氧化钛子层为非晶结构，所述第二二氧化钛子层为晶态结构； 具体为，用原子层沉积工艺，以四氯化钛作为钛源前驱体，同时引入镁乙酰丙酮和三甲基铝作为掺杂剂驱体，通过共沉积工艺实现二氧化钛基薄膜的镁和铝共掺杂，沉积温度设定为100℃-200℃，在此温度区间内，通过调控反应循环次数，形成非晶结构的第一二氧化钛子层； 在同一反应腔内，继续采用原子层沉积工艺，在四氯化钛作为钛源前驱体的基础上，引入二甲基锌和三甲基镓作为共掺杂前驱体，通过交替脉冲前驱体实现锌和镓的同步掺杂，沉积温度设定为100℃-200℃，在此温度区间内，通过调控反应循环次数，形成晶态结构的第二二氧化钛子层； 在所述二氧化钛层上沉积形成含氢盖层。
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