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龙图腾网获悉西安稀有金属材料研究院有限公司申请的专利一种高纯钛溅射靶材的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120138584B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510397607.6，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种高纯钛溅射靶材的制备方法是由王旭彪;吴金平;刘承泽;王作华;刘未设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高纯钛溅射靶材的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高纯钛溅射靶材的制备方法，该方法包括以下步骤：步骤一、开坯锻造；步骤二、再次锻造；步骤三、压延；步骤四、异步轧制；步骤五、校平；步骤六、梯度完全再结晶退火，得到高纯钛溅射靶材。本发明的制备方法采用多向锻造结合异步轧制等工艺，明显弱化了变形过程中应力分布不均及强织构的形成，高纯钛溅射靶材的晶粒得以显著细化和均匀化，且充分保证了横、纵向组织中晶粒尺寸分布和晶体取向分布的均匀性；同时，在一定程度提高了等效应变，提高了产能、节约能耗，该方法的可控性高，所制备高纯钛溅射靶材，无缺陷、晶粒充分细化、组织均匀性高，适合作为高品质半导体用溅射靶材。

本发明授权一种高纯钛溅射靶材的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高纯钛溅射靶材的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤： 步骤一、开坯锻造：将质量纯度不低于99.99%的高纯钛铸锭切除冒口和底端，且将表面的吸氧层及宏观缺陷车削、打磨、清洗干净，然后在表面均匀涂覆玻璃防护润滑剂并风干，并在电阻炉中随炉加热保温，再进行三镦三拔的开坯锻造处理，单次锻造比均不小于1.8，锻造温度为800℃~950℃，锻造保温时间为2h~3h，结束后水冷至室温，得到开坯锻造高纯钛铸锭； 步骤二、再次锻造：将步骤一中得到的开坯锻造高纯钛铸锭在表面均匀涂覆玻璃防护润滑剂并风干，并在电阻炉中随炉加热保温，再进行单次锻造比不小于1.8的多向等温锻造处理，锻造温度为700℃~780℃，锻造保温时间为1h~2h，锻造方向为3个~6个，累计变形量为40%~70%，锻造结束后空冷至室温，得到再次锻造高纯钛铸锭； 步骤三、压延：将步骤二中得到的再次锻造高纯钛铸锭进行线切割分料，然后在500℃~700℃的电阻炉中随炉加热，并保温0.5h~1h，再进行累计变形量为20%~30%的压延，得到高纯钛板坯； 步骤四、异步轧制：将步骤三中得到的高纯钛板坯在电阻炉中随炉加热保温，然后进行异步轧制，异步轧制的总变形量为50%~70%，异步轧制结束后空冷至室温，得到异步轧制态高纯钛板材； 步骤五、校平：将步骤四中得到的异步轧制态高纯钛板材进行校平处理，得到平整度不大于0.5mm的校平高纯钛板材； 步骤六、梯度完全再结晶退火：将步骤五中得到的校平高纯钛板材在真空炉中进行到温入炉保温的梯度完全再结晶退火，然后空冷至室温，加工后得到高纯钛溅射靶材。

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