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苏州优晶半导体科技股份有限公司;江苏科技大学袁长路获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州优晶半导体科技股份有限公司;江苏科技大学申请的专利能定量加料的碳化硅生长炉和碳化硅生长方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119843355B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510315478.1,技术领域涉及:C30B23/00;该发明授权能定量加料的碳化硅生长炉和碳化硅生长方法是由袁长路;陈建明;赵文超;张江涛;张礼华;陈曙光;王叶松;裴永胜设计研发完成,并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。

能定量加料的碳化硅生长炉和碳化硅生长方法在说明书摘要公布了:本发明属于碳化硅晶体生长技术领域,具体涉及一种能定量加料的碳化硅生长炉和碳化硅生长方法,包括炉体和坩埚,坩埚顶部设置籽晶安装部,还包括定量加料装置,定量加料装置包括加料罐、螺旋送料装置、加料输送管道;坩埚的下部开设补料管道,补料管道由下而上的依次从炉体底部、坩埚底部延伸至坩埚内部,补料管道与坩埚内壁之间形成原料仓;加料输送管道的上部设置在补料管道内且延伸至原料仓所在高度的上方并与原料仓连通,以进行补料。本发明能在晶体生长过程中连续加料,不仅可以增加晶体生长的厚度,又可以提高晶体的内部质量。

本发明授权能定量加料的碳化硅生长炉和碳化硅生长方法在权利要求书中公布了:1.一种能定量加料的碳化硅生长炉,包括炉体和坩埚,坩埚顶部设置籽晶安装部,其特征在于,还包括定量加料装置,所述定量加料装置包括加料罐、螺旋送料装置、加料输送管道;其中,加料罐上设置供气管道、真空管道; 所述螺旋送料装置包括螺旋件,螺旋件具有通气通道,且通气通道上连通设置有若干气孔且若干气孔沿螺旋件的轴向分布;所述通气通道的入口连通有一级充气管道; 所述坩埚的下部开设补料管道,补料管道由下而上的依次从炉体底部、坩埚底部延伸至坩埚内部,补料管道与坩埚内壁之间形成原料仓;所述加料输送管道的上部设置在所述补料管道内且延伸至所述原料仓所在高度的上方并与原料仓连通,以进行补料;所述加料输送管道的位于炉体外的部分侧壁与炉体之间进行密封连接,且所述加料输送管道的下部具有侧入口和底部入口;所述底部入口连通有三级充气管道以引入惰性气体载气;所述加料输送管道的底部入口与三级充气管道之间设置有用于阻挡原料颗粒的孔板; 所述侧入口与加料罐的出口之间通过中间送料管道连通,加料罐的出口处设置能控制开度的第一球阀;并在中间送料管道为两个以上管道连接时,将前一管道的出口端伸入后一管道的入口端内并进行非接触式的密封套接,且在该密封套接处设置二级充气管道。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州优晶半导体科技股份有限公司;江苏科技大学,其通讯地址为:215300 江苏省苏州市昆山市开发区杜鹃路555号A6#厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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