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龙图腾网获悉江西省永合新材料科技有限公司申请的专利一种光刻胶刻蚀装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119993865B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510120175.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种光刻胶刻蚀装置是由罗启祥;高梁设计研发完成，并于2025-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻胶刻蚀装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光刻胶刻蚀装置，涉及光刻胶刻蚀技术领域，包括沿轴心安装在承接盘上的多个双侧管，每个所述双侧管上分别安装有辅助吸盘，所述双侧管内安装有隔板，所述双侧管和隔板之间限位滑动连接有密封块，靠近密封块一侧的双侧管上连通安装有外部管，所述外部管内滑动连接有调节管，所述调节管内开设有滑动槽，所述滑动槽内密封滑动连接有活塞盘，所述活塞盘内同轴心滑动连接中间杆，所述中间杆上安装有单向盘，所述活塞盘上开设有单向槽，单向盘贴合在所述单向槽上，该装置采用了双重固定机制，通过固定吸盘和辅助吸盘的协同作用，提高了晶圆的稳定性，固定吸盘提供初始的固定力，而辅助吸盘则随着旋转速度的增加而提供额外的固定力。

本发明授权一种光刻胶刻蚀装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶刻蚀装置，包括固定安装的减速机11和连接在减速机11伸出端上的承接盘12，所述减速机11上配合安装有电机13； 其特征是：辅助机构，包括沿轴心安装在承接盘12上的多个双侧管21，每个所述双侧管21上分别安装有辅助吸盘22，所述双侧管21内安装有隔板23，所述双侧管21和隔板23之间限位滑动连接有密封块24，靠近密封块24一侧的双侧管21上连通安装有外部管25，所述外部管25内滑动连接有调节管26，所述调节管26内开设有滑动槽27，所述滑动槽27内密封滑动连接有活塞盘28，所述活塞盘28内同轴心滑动连接中间杆29，所述中间杆29上安装有单向盘210，所述活塞盘28上开设有单向槽211，单向盘210贴合在所述单向槽211上；以及 固定机构，包括密封滑动连接在所述双侧管21内的调节盘31，所述双侧管21上安装有固定吸盘32，所述辅助吸盘22和所述固定吸盘32上分别等间距安装有多个停止杆33，所述停止杆33的上端为橡胶材质，所述固定机构还包括固定安装在所述双侧管21上的导向块34，所述调节盘31上安装有拉杆35，所述拉杆35滑动连接在所述导向块34内，所述导向块34的侧壁上滑动连接有横向杆36，所述横向杆36上安装有回程簧37，回程簧37的另一端连接在所述导向块34的侧壁上，所述拉杆35上等间距开设有和横向杆36直径相同的横向孔38，当所述横向杆36不受力时横向杆36插入到所述横向孔38内。

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