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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利一种极紫外光刻光源产生方法与装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119697856B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510050455.2，技术领域涉及：H05G2/00；该发明授权一种极紫外光刻光源产生方法与装置是由林楠;张云杰设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种极紫外光刻光源产生方法与装置在说明书摘要公布了：一种极紫外光刻光源产生方法和装置，方法包括在真空环境中生成微米级厚度均匀稳定的金属液膜靶材，使用2微米波长激光束聚焦轰击靶材产生极紫外光；装置包括2微米固体激光器模块、液膜生成与维持模块、激光聚焦与能量耦合模块以及极紫外光收集与传输模块构成。其中，凭借2微米固体激光器对金属液膜靶进行轰击从而获取极紫外光，而金属液膜产生装置借助精准的温控及流控手段，确保金属液膜能够维持均匀稳定的微米级厚度。此外，激光耦合与聚焦模块能够对光源脉冲的时空分布予以调整，有利于液膜靶高效吸收驱动能量。本发明具备降低能耗、提升效率与稳定性的优势，为光刻技术及芯片制造产业的蓬勃发展注入了强劲动力。

本发明授权一种极紫外光刻光源产生方法与装置在权利要求书中公布了：1.一种极紫外光刻光源产生装置，其特征在于，包括： 液膜生成与维持模块，用于在真空环境中生成沿滴落方向的金属液膜靶材，且保持该金属液膜靶材在微米级厚度的均匀稳定； 2微米固体激光器模块，用于发射2微米波长的激光束； 激光聚焦与能量耦合模块，用于接收来自所述2微米固体激光器模块发射的激光束，并聚焦轰击在所述金属液膜靶材上以实现高效能量转换，同时调整激光束的时空分布以促进金属液膜靶材对能量的吸收，进而产生极紫外光； 其中，所述液膜生成与维持模块，包括： 容器，用于盛装金属熔液； 温控系统，设置在所述容器的底部，包括温度传感器和加热元件； 微流控通道，与所述容器的底部出口端相连， 微量泵，设置在所述微流控通道内，用于控制所述金属熔液的流速； 液膜喷嘴，与所述微流控通道底部相连； 惰性气体气泵，设置在所述容器的顶部，用于施加气压，使所述金属熔液通过容器、微流控通道和液膜喷嘴流出； 通过控制金属熔液的温度、流速以及利用液体自身表面张力，使得金属熔液在容器内形成一层稳定且厚度可调的金属液膜，该金属液膜作为激光作用的靶面，以产生极紫外光。

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