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龙图腾网获悉东莞汇乐技术股份有限公司申请的专利一种晶圆生产除尘装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119794017B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510040318.0，技术领域涉及：B08B5/02；该发明授权一种晶圆生产除尘装置是由王银安;李怀俊;许文棋;楚世赟;迟浩蓬;袁伟杰;蔡俊炜;黄文彬;张科威;李海燕;姚星;陈晓晨设计研发完成，并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆生产除尘装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆生产除尘装置，底框的四个边角设有向上延伸竖立的立柱，立柱远离底框的一端设有上框体，底框、立柱与上框体组成安装框架；安装框架中设有除尘机构，除尘机构的上面设有移动机构，移动机构的上面设有气压组件，除尘机构、移动机构与气压组件设置在安装框架中；相邻两条立柱的中部之间设有支撑横板，相对的另一边两条立柱之间设有匹配对应的另一支撑横板，两个支撑横板匹配相对设置，两个支撑横板之间设有横载板，横载板上设有气压组件的部分组件；除尘机构包括除尘头腔体，除尘头腔体的底部设有底板，除尘头腔体的顶端设有框体密封盖。本申请采用非接触式的除尘头进行清理，提高清洁效率，提升设备自动化程度。

本发明授权一种晶圆生产除尘装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆生产除尘装置，包括：底框21，所述底框21的四个边角设有向上延伸竖立的立柱11，立柱11远离底框21的一端设有上框体12，底框21、立柱11与上框体12组成安装框架；其特征在于，所述安装框架中设有除尘机构31，除尘机构31的上面设有移动机构51，移动机构51的上面设有气压组件61，除尘机构31、移动机构51与气压组件61设置在安装框架中； 相邻两条立柱11的中部之间设有支撑横板13，相对的另一边两条立柱11之间设有匹配对应的另一支撑横板13，两个支撑横板13匹配相对设置，两个支撑横板13之间设有横载板14，横载板14上设有气压组件61的部分组件； 除尘机构31包括除尘头腔体32，除尘头腔体32的底部设有底板33，除尘头腔体32与底板33一体化成型，除尘头腔体32的顶端设有框体密封盖34； 除尘头腔体32的顶部设有开口，除尘头腔体32顶端的开口处设有框体密封盖34，除尘头腔体32内设有正压室37，正压室37横向两侧壁由除尘头腔体32内的底板33上向竖直设置，正压室37的顶端距离除尘头腔体32的顶端设有分离间距； 移动机构51设置在两侧的支撑横板13之间，移动机构51包括凹型轨55、电机52；两侧的支撑横板13之间设有凹型轨55，凹型轨55两端分别固定设置在两侧的支撑横板13上，凹型轨55的一端设有电机52，凹型轨55的另一端设有齿轮53，电机52的输出轴与齿轮53之间套设有内齿皮带54，内齿皮带54设置在凹型轨55的凹槽中，电机52输出轴上的传动轮与内齿皮带54齿合传动连接。

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