北京中科飞龙传感技术有限责任公司;中科飞龙(北京)智能科技有限公司杨鹏飞获国家专利权
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龙图腾网获悉北京中科飞龙传感技术有限责任公司;中科飞龙(北京)智能科技有限公司申请的专利压电驱动电极组件、加工方法及MEMS电场传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119827852B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411839892.4，技术领域涉及：G01R29/12；该发明授权压电驱动电极组件、加工方法及MEMS电场传感器是由杨鹏飞;储昭志;闻小龙;吴双设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本压电驱动电极组件、加工方法及MEMS电场传感器在说明书摘要公布了：本发明提供一种压电驱动电极组件、加工方法及MEMS电场传感器，其中，压电驱动电极组件包括基层、底端绝缘层与压电电极，压电电极与底端绝缘层依次叠加在基层上，压电电极包括依次叠加的上金属电极、压电材料层与下金属电极，还包括上端屏蔽电级与下端屏蔽电极，其中：上端屏蔽电极的至少一部分位于上金属电极的上方区域，且至少遮挡上金属电极的顶部端面的一部分；下端屏蔽电极位于压电电极的第一侧和或第二侧，且覆盖底端绝缘层的顶部端面的一部分。本发明不但可以避免被测电场受到压电驱动信号的干扰，还可以避免压电驱动信号的频率由于与电场传感器的感应信号频率相同而产生干扰。
本发明授权压电驱动电极组件、加工方法及MEMS电场传感器在权利要求书中公布了：1.一种压电驱动电极组件，包括基层、底端绝缘层与压电电极，所述压电电极与所述底端绝缘层依次叠加在所述基层上，所述压电电极包括依次叠加的上金属电极、压电材料层与下金属电极，其特征在于，还包括上端屏蔽电极与下端屏蔽电极，其中： 所述上端屏蔽电极的至少一部分位于所述上金属电极的上方区域，且至少遮挡所述上金属电极的顶部端面的一部分； 所述下端屏蔽电极位于所述压电电极的第一侧和或第二侧，且覆盖所述底端绝缘层的顶部端面的一部分； 还包括顶端绝缘层，其中： 所述顶端绝缘层包裹在所述上金属电极与所述压电材料层的外侧，与所述下金属电极形成封装结构，或者，所述顶端绝缘层包裹在所述上金属电极、所述压电材料层与所述下金属电极的外侧，与所述底端绝缘层形成封装结构。
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