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龙图腾网获悉河北美泰电子科技有限公司申请的专利晶圆测试系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119269856B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411783721.4，技术领域涉及：G01R1/073；该发明授权晶圆测试系统及方法是由卢新艳;许鹏;张永胜;祝铭;梁晓伟;刘梦涛;夏令设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆测试系统及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆测试系统及方法，属于半导体测试领域。该晶圆测试系统包括：控制主机、探针卡和测试装置；探针卡中包括信号开关；控制主机，用于生成目标模式测试指令，并将目标模式测试指令发送至探针卡；探针卡，用于基于目标模式测试指令，使信号开关选择相应的目标模式，以采集待测试晶圆器件对应的测试信号，并将测试信号发送至测试装置，以得到待测试晶圆器件的测试数据。本发明将晶圆器件的动态检测以及静态检测所需要的器件集成到探针卡上，通过一个信号开关进行模式选择。当需要在动态测试和静态测试之间进行切换时，不需要进行探针的切换，只需要通过信号开关的开合即可，以此提高晶圆测试的效率。

本发明授权晶圆测试系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测试系统，其特征在于，包括：控制主机、探针卡和测试装置；所述探针卡中包括信号开关； 所述控制主机，用于生成目标模式测试指令，并将所述目标模式测试指令发送至所述探针卡； 所述探针卡，用于基于所述目标模式测试指令，使所述信号开关选择相应的目标模式，以采集待测试晶圆器件对应的测试信号，并将所述测试信号发送至所述测试装置，以得到所述待测试晶圆器件的测试数据； 所述探针卡中还包括静态测试端和动态测试检测电路； 所述目标模式测试指令为静态模式测试指令或动态模式测试指令； 若所述目标模式测试指令为静态模式测试指令，则将所述信号开关切换连接至所述静态测试端； 若所述目标模式测试指令为动态模式测试指令，则将所述信号开关切换连接至所述动态测试检测电路； 所述晶圆测试系统还包括开关矩阵；所述开关矩阵与所述测试装置连接； 所述开关矩阵，用于接收所述目标模式测试指令，并基于所述目标模式测试指令将自身调整为相应的测试模式，同时将所述目标模式测试指令发送至所述探针卡； 若所述目标模式测试指令为静态模式测试指令，所述目标模式测试指令中还包括目标测试量检测指令； 所述开关矩阵，还用于基于所述目标测试量检测指令，将自身与相应的测试装置之间调整为导通状态，以将待测试晶圆器件对应的测试信号，发送至所述相应的测试装置，以得到待测试晶圆器件的目标测试量。

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