广东金湾高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司周禹获国家专利权
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龙图腾网获悉广东金湾高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司申请的专利一种硅片的清洗方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119581316B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411781428.4,技术领域涉及:H01L21/02;该发明授权一种硅片的清洗方法、装置、电子设备及存储介质是由周禹;全晓冬;付明全;毕喜行;杜志超设计研发完成,并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片的清洗方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请实施例提供了一种硅片的清洗方法、装置、电子设备及存储介质,该方法包括:根据酸碱度实际数值与预置酸碱度范围之间的数值关系、污片风险等级或氧化片风险是否存在标识、酸碱度理论数值、硅片实际清洗量和所述硅片理论清洗量,确定目标药剂槽对应的目标酸碱度数值或未来预设时长内的硅片清洗时长;向目标药剂槽中添加药剂溶液,直到目标药剂槽中药剂溶液的酸碱度数值为目标酸碱度数值后继续清洗硅片;或使目标药剂槽按照硅片清洗时长清洗硅片。通过本申请能够避免硅片表面过于干净时会产生氧化片、过于脏污时出现污片的问题,减少了硅片生产成本,提高了生产效率。
本发明授权一种硅片的清洗方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种硅片的清洗方法,其特征在于,所述方法包括: 获取目标药剂槽对应的当前的污片风险等级或氧化片风险是否存在标识、硅片实际清洗量、硅片理论清洗量,以及所述目标药剂槽中药剂溶液在当前的酸碱度实际数值、酸碱度理论数值; 根据所述酸碱度实际数值与预置酸碱度范围之间的数值关系、所述污片风险等级或所述氧化片风险是否存在标识、所述酸碱度理论数值、所述硅片实际清洗量和所述硅片理论清洗量,确定所述目标药剂槽对应的目标酸碱度数值或未来预设时长内的硅片清洗时长; 向所述目标药剂槽中添加药剂溶液,直到所述目标药剂槽中药剂溶液的酸碱度数值为所述目标酸碱度数值后继续清洗硅片;或使所述目标药剂槽按照所述硅片清洗时长清洗硅片。
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