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龙图腾网获悉扬州奕丞科技有限公司申请的专利一种快速形成MEMS探针的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119407353B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411680728.3，技术领域涉及：B23K26/38；该发明授权一种快速形成MEMS探针的制备方法是由王雪岩;熊烱声;赖生雄;张子仁;张京伟设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种快速形成MEMS探针的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了半导体探针加工领域内的一种快速形成MEMS探针的制备方法，包括如下步骤：选择待切割合金板材，五轴激光切割机对待切割合金板材进行切割，切掉待切割合金板材的各废料镂空部，得到合金框架，取下合金框架，并将合金框架通过胶贴合粘接在基板上，五轴激光切割机对合金框架上各十字形探针体的左右两端与合金框架的连接边进行切割，将合金框架与基板相脱离，基板上保留有多个探针体。本发明提高了探针产品制备效率，增加探针产出数量。

本发明授权一种快速形成MEMS探针的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种快速形成MEMS探针的制备方法，其特征在于包括如下步骤： （1）选择厚度与需要制备出的探针长度相等的待切割合金板材，确保待切割合金板材的表面平整； （2）将待切割合金板材通过热熔胶粘接固定在五轴激光切割机的切割载物平台上； （3）五轴激光切割机对待切割合金板材进行切割，切掉待切割合金板材的各废料镂空部，使得各废料镂空部与待切割合金板材相分离，得到合金框架，所述合金框架上设置有多组呈矩形阵列排列分布的针体单元组件，每组所述针体单元组件均包括若干沿纵向等间距排列分布的探针体，探针体呈横向设置的十字形，十字形探针体的左右两端经连接边与合金框架相连接；切割出的合金框架的每个探针体在纵向的前后两侧均开设有一个废料镂空槽，废料镂空槽与合金板材上切掉的废料镂空部的形状、面积相同，所述废料镂空槽与十字形探针体的长度相等，每个废料镂空槽的左右两边均分别与对应十字形探针体的左右两边相对应平齐，每个所述废料镂空槽靠近十字形探针体的一边均对应十字形探针体开设有一缺口，十字形探针体上设有两个左右对称的插入部，两个插入部分别配合嵌入两个相邻废料镂空槽的缺口内； （4）向五轴激光切割机的切割载物平台上浇温度为70-80℃的热水，使得粘接在切割载物平台上的合金框架和各废料镂空部与切割载物平台相分离； （5）清理掉各废料镂空部，然后取下合金框架，并将合金框架通过胶贴合粘接在基板上，基板的面积大于合金框架的外围面积； （6）再将基板的底部通过热熔胶水平粘接在五轴激光切割机的切割载物平台上，使得合金框架位于基板上方； （7）五轴激光切割机对合金框架上各十字形探针体的左右两端与合金框架的连接边进行切割，使得各十字形探针体与合金框架相分离； （8）向五轴激光切割机的切割载物平台上浇温度为70-80℃的热水，使得粘接在切割载物平台上的基板与切割载物平台相分离，再用镊子夹住合金框架向上抬起合金框架使其与基板相脱离，基板上保留有多个探针体； 所述待切割合金板材的厚度为40-50微米；所述五轴激光切割机为飞秒高精度激光切割机；所述合金框架上探针体和探针体前后两侧的废料镂空槽组成一个探针结构，所述针体单元组件由多个沿纵向等间隔设置的探针结构组成；所述五轴激光切割机的脉冲宽度为500-800fs，激光频率800kHz，激光功率0.8-1.2W，切割速度为100mms。

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