广东省科学院新材料研究所林松盛获国家专利权
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龙图腾网获悉广东省科学院新材料研究所申请的专利一种高温耐磨自润滑掺硼类金刚石涂层及其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119433438B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411577565.6,技术领域涉及:C23C14/06;该发明授权一种高温耐磨自润滑掺硼类金刚石涂层及其制备方法与应用是由林松盛;陈彦军;苏一凡;石倩;唐鹏;韦春贝;张程;李小亚;黄力为设计研发完成,并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高温耐磨自润滑掺硼类金刚石涂层及其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高温耐磨自润滑掺硼类金刚石涂层及其制备方法与应用,属于涂层材料技术领域。该掺硼类金刚石涂层包括在基底表面沉积的Cr打底层、CrxByCz梯度过渡层和B‑DLC功能层;Cr打底层厚度为0.15μm~0.25μm,Cr的质量百分数为99.5%~99.99%;CrxByCz梯度过渡层厚度为0.05μm~0.10μm,Cr的质量百分数>0且≤99.99%,B的质量百分数>0且≤8%;B‑DLC功能层厚度为0.8μm~2.0μm,B的质量百分数为3%~5%。该掺硼类金刚石涂层同时具备高硬度、高韧性及低摩擦特性,可在400~500℃的高温大气环境下展现出优异的自润滑和耐磨性能。
本发明授权一种高温耐磨自润滑掺硼类金刚石涂层及其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种高温耐磨自润滑掺硼类金刚石涂层,其特征在于,所述高温耐磨自润滑掺硼类金刚石涂层包括在基底表面依次沉积的Cr打底层、CrxByCz梯度过渡层和B-DLC功能层; 其中,所述Cr打底层具有柱状结构,所述Cr打底层的厚度为0.15μm~0.25μm;所述CrxByCz梯度过渡层具有柱状结构,所述CrxByCz梯度过渡层的厚度为0.05μm~0.10μm;所述B-DLC功能层具有致密的无特征结构,所述B-DLC功能层的厚度为0.8μm~2.0μm; 所述Cr打底层中,Cr的质量百分数为99.5%~99.99%;所述CrxByCz梯度过渡层中,Cr的质量百分数大于0且不超过99.99%,B的质量百分数大于0且不超过8%,余量为C;所述B-DLC功能层中,B的质量百分数为3%~5%,余量为C; 沿靠近所述Cr打底层至远离所述Cr打底层的方向,所述CrxByCz梯度过渡层中,Cr的质量百分数逐渐从99.99%减小至0%,B的质量百分数逐渐从0增加至8%; 所述B-DLC功能层采用阳极层离子源辅助的高功率脉冲磁控溅射技术制备;所述B-DLC功能层的制备条件包括:通入80sccm~100sccm氩气,气压为0.25Pa~0.30Pa;基体偏压为-100V至-150V,偏压占空比为50%~60%;采用石墨-碳化硼复合靶,所述石墨-碳化硼复合靶中,B含量占比为5wt%~10wt%;HiPIMS脉冲功率为2.0kW~4.0kW,占空比为1.0%~3.0%;阳极层离子源功率为0.18kW~0.36kW,占空比为50%~60%;沉积时间为4h~6h; 所述高温耐磨自润滑掺硼类金刚石涂层的硬度为H,H的范围为20.0GPa~25.0GPa;所述高温耐磨自润滑掺硼类金刚石涂层的等效弹性模量为E*,E*的范围为185GPa~245GPa;所述高温耐磨自润滑掺硼类金刚石涂层在25℃大气环境下的摩擦系数为0.090~0.100;所述高温耐磨自润滑掺硼类金刚石涂层在400℃大气环境下的摩擦系数为0.050~0.055;所述高温耐磨自润滑掺硼类金刚石涂层在500℃大气环境下的摩擦系数为0.040~0.050;所述高温耐磨自润滑掺硼类金刚石涂层在25℃大气环境下的磨损率不超过3.50×10-7m3N·m;所述高温耐磨自润滑掺硼类金刚石涂层在400℃大气环境下的磨损率不超过1.50×10-6m3N·m;所述高温耐磨自润滑掺硼类金刚石涂层在500℃大气环境下的磨损率不超过5.0×10-6m3N·m。
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