芯恩(青岛)集成电路有限公司张琦获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种气体质量流量控制器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223216135U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422614977.4,技术领域涉及:F17D3/01;该实用新型一种气体质量流量控制器是由张琦;赵建蕾;朱思伦设计研发完成,并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气体质量流量控制器在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种气体质量流量控制器,包括主管,用于通过气体;副管,固定设置于所述主管,所述副管的两端具有进气管和排气管,所述进气管和所述排气管均连通于所述主管;调试组件,设置于所述副管,用于加热所述副管内的气体;冷却装置,固定设置于所述副管,用于对所述副管内的气体降温;在工作状态中,气体在所述主管内流动,通过所述进气管后进入所述副管,在所述调试组件处加热,加热的气体经所述冷却装置降温后,通过所述排气管进入所述主管。本实用新型能够对加热后的气体进行降温,降温后的气体通过排气管进入到主管内,使副管内的气体与主管内的气体的温度梯度降低,减小由于温度变化引起的热虹吸效应。
本实用新型一种气体质量流量控制器在权利要求书中公布了:1.一种气体质量流量控制器,其特征在于,包括: 主管100,用于通过气体; 副管200,固定设置于所述主管100,所述副管200的两端具有进气管210和排气管220,所述进气管210和所述排气管220均连通于所述主管100; 调试组件300,设置于所述副管200,用于加热所述副管200内的气体; 冷却装置400,固定设置于所述副管200,用于对所述副管200内的气体降温; 在工作状态中,气体在所述主管100内流动,通过所述进气管210后进入所述副管200,在所述调试组件300处加热,加热的气体经所述冷却装置400降温后,通过所述排气管220进入所述主管100。
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