捷捷微电(南通)科技有限公司陈国超获国家专利权
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龙图腾网获悉捷捷微电(南通)科技有限公司申请的专利一种内胶杯高度测量装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223216880U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422601193.8,技术领域涉及:G01B21/08;该实用新型一种内胶杯高度测量装置是由陈国超;陆晓波;李一华;吴胜荣设计研发完成,并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种内胶杯高度测量装置在说明书摘要公布了:本申请提供一种内胶杯高度测量装置,涉及晶圆涂胶加工技术领域。该内胶杯高度测量装置包括安装座、支撑板和高度测量杆;支撑板固定设置于安装座的顶部,高度测量杆包括杆身、测量探头和显示屏,杆身沿竖直方向穿设于支撑板,显示屏位于杆身远离安装座的端部,测量探头位于杆身远离显示屏的端部,显示屏用于显示测量探头测量的高度信息。上述内胶杯高度测量装置能够快速、高效地测量内胶杯各处的高度,以保证内胶杯各处的高度处于预设高度范围内,提高了晶圆涂胶效率和可靠性。
本实用新型一种内胶杯高度测量装置在权利要求书中公布了:1.一种内胶杯高度测量装置,其特征在于,包括安装座110、支撑板120和高度测量杆130;所述支撑板120固定设置于所述安装座110的顶部,所述高度测量杆130包括杆身131、测量探头和显示屏132,所述杆身131沿竖直方向穿设于所述支撑板120,所述显示屏132位于所述杆身131远离所述安装座110的端部,所述测量探头位于所述杆身131远离所述显示屏132的端部,所述显示屏132用于显示所述测量探头测量的高度信息。
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