素珀电子科技(上海)有限公司朱玉东获国家专利权
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龙图腾网获悉素珀电子科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆位置检测组件及晶圆载具升降传输设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223216842U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422591352.0，技术领域涉及：G01B11/00；该实用新型一种晶圆位置检测组件及晶圆载具升降传输设备是由朱玉东;严梦;刘玮;赵渠设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆位置检测组件及晶圆载具升降传输设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆位置检测组件及晶圆载具升降传输设备，涉及半导体设备技术领域，晶圆位置检测组件包括：至少一个检测单元，检测单元包括发射端、接收端和反射件；检测单元沿Z轴方向设置，发射端和所述接收端位于同侧；反射件沿Z轴方向与所述发射端相对设置，反射件具有反射区，发射端沿X轴可移动设置于所述腔体顶壁，发射端的移动轨迹在Z轴方向上的投影在所述反射区内；反射件对所述发射端在移动轨迹上的任意位置点发出的激光束进行反射，接收端对反射的激光束进行接收；当发射端发射出的激光束与晶圆盒内的晶圆片相交时，接收端的信号减弱。本实用新型至少能够解决需要移动激光发射件的同时，又相应的移动反射件至对应位置的问题。
本实用新型一种晶圆位置检测组件及晶圆载具升降传输设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆位置检测组件，应用于晶圆载具升降传输设备，所述晶圆载具升降传输设备包括腔体100，且内部具有容纳空间，用于放置晶圆盒200，所述晶圆盒200内放置多个晶圆片，其特征在于，所述晶圆位置检测组件包括： 至少一个检测单元，所述检测单元包括发射端、接收端和反射件400； 所述检测单元沿Z轴方向设置，所述发射端和所述接收端位于同侧； 所述反射件400沿Z轴方向与所述发射端相对设置，所述反射件400具有反射区410，所述发射端沿X轴可移动设置于所述腔体100顶壁，所述发射端的移动轨迹在Z轴方向上的投影在所述反射区410内； 其中，所述反射件400对所述发射端在移动轨迹上的任意位置点发出的激光束进行反射，所述接收端对反射的激光束进行接收；当所述发射端发射出的激光束与所述晶圆盒200内的晶圆片相交时，所述接收端的信号减弱。
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