合肥芯碁微电子装备股份有限公司曲鲁杰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利高效单机双面曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223217782U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422576617.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型高效单机双面曝光设备是由曲鲁杰;程刚设计研发完成，并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本高效单机双面曝光设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种高效单机双面曝光设备，包括基座、曝光组件、基板载台和两个翻板组件。曝光组件设在基座的上方。基板载台设在基座和曝光组件之间，用于吸附待曝光件，基板载台沿基座的长度方向可移动。两个翻板组件均设在基板载台和曝光组件之间，每个翻板组件包括吸盘件和连接杆，吸盘件与连接杆转动连接，连接杆沿基座的宽度方向可移动。其中，两个翻板组件的两个吸盘件的转动方向相反。根据本实用新型的高效单机双面曝光设备，通过两个翻板组件的配合，实现了待曝光件的高效单机双面曝光，不需要额外的移栽机、翻板机等设备，有利于降低曝光设备的成本，同时减小了曝光的组线，提升曝光设备的产能，还减小了曝光设备的占地面积。
本实用新型高效单机双面曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种高效单机双面曝光设备，其特征在于，包括： 基座； 曝光组件，所述曝光组件设在所述基座的上方； 基板载台，所述基板载台设在所述基座和所述曝光组件之间，用于吸附待曝光件，所述基板载台沿所述基座的长度方向可移动； 两个翻板组件，两个所述翻板组件均设在所述基板载台和所述曝光组件之间，每个所述翻板组件包括吸盘件和连接杆，所述吸盘件与所述连接杆转动连接，所述连接杆沿所述基座的宽度方向可移动； 其中，两个所述翻板组件的两个所述吸盘件的转动方向相反。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥芯碁微电子装备股份有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号