迈为技术(珠海)有限公司周锦杰获国家专利权
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龙图腾网获悉迈为技术(珠海)有限公司申请的专利一种环形加热缩膜装置及晶圆扩片设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223218272U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422540074.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种环形加热缩膜装置及晶圆扩片设备是由周锦杰;郭庆;马林;王正根;陈万群设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种环形加热缩膜装置及晶圆扩片设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种环形加热缩膜装置及晶圆扩片设备，环形加热缩膜装置包括：驱动组件、安装座以及环形加热器；所述驱动组件的驱动端与所述安装座连接，所述环形加热器连接于所述安装座，所述驱动组件能够驱动所述安装座沿第一方向移动，进而带动所述环形加热器朝向或背离晶圆片地移动；所述环形加热器包括环形加热元件，所述环形加热元件沿所述环形加热器的周向均匀延伸地设置有至少一圈，所述环形加热元件用于对所述边缘膜加热缩膜。本申请通过环形加热器辐射加热烘烤边缘膜，只有热辐射而没有明显的热风，可尽可能保证边缘膜不受外界热风影响，保持热扩后的拉伸展开状态，进而保证缩膜质量。
本实用新型一种环形加热缩膜装置及晶圆扩片设备在权利要求书中公布了：1.一种环形加热缩膜装置，用于对晶圆片和铁环之间的边缘膜进行加热缩膜，其特征在于，包括驱动组件2、安装座3以及环形加热器4；所述驱动组件2的驱动端与所述安装座3连接，所述环形加热器4连接于所述安装座3，所述驱动组件2能够驱动所述安装座3沿第一方向移动，进而带动所述环形加热器4朝向或背离晶圆片地移动； 所述环形加热器4包括环形加热元件402，所述环形加热元件402沿所述环形加热器4的周向均匀延伸地设置有至少一圈，所述环形加热元件402用于对所述边缘膜加热缩膜。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人迈为技术(珠海)有限公司，其通讯地址为：519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室(集中办公区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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