上海良薇机电工程有限公司宋泳良获国家专利权
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龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种混合废气处理设备及半导体工艺系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223209233U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422497186.8，技术领域涉及：B01D53/02；该实用新型一种混合废气处理设备及半导体工艺系统是由宋泳良;纪雪峰设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种混合废气处理设备及半导体工艺系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种混合废气处理设备及半导体工艺系统，混合废气处理设备包括第一混合废气过滤部件、第二混合废气过滤部件和回收部件。其优点在于，通过将上游半导体工艺设备与第一混合废气过滤部件、第二混合废气过滤部件连通，且第一混合废气过滤部件、第二混合废气过滤部件连通的先后顺序可根据实际需求进行随意排序，从而可去除半导体外延气体中的氯化氢、三氯氢硅、磷化氢、乙硼烷等杂质并得到氢气，进而可对半导体外延气体进行回收利用以及对半导体外延气体进行净化处理达到排放要求。
本实用新型一种混合废气处理设备及半导体工艺系统在权利要求书中公布了：1.一种混合废气处理设备，其特征在于，包括： 第一混合废气过滤部件，所述第一混合废气过滤部件与上游半导体工艺设备连通，用于对半导体外延气体过滤以去除氯化氢和三氯氢硅； 第二混合废气过滤部件，所述第二混合废气过滤部件与上游半导体工艺设备和或所述第一混合废气过滤部件连通，用于对半导体外延气体过滤以去除磷化氢和乙硼烷； 回收部件，所述回收部件与所述第一混合废气过滤部件和或所述第二混合废气过滤部件连通，用于回收经过所述第一混合废气过滤部件、所述第二混合废气过滤部件处理产生的氢气。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海良薇机电工程有限公司，其通讯地址为：201913 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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