北京特思迪半导体设备有限公司陈艳东获国家专利权
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龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利一种定心机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223218284U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422483485.6，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种定心机构是由陈艳东;寇明虎设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种定心机构在说明书摘要公布了：本申请提供一种定心机构，属于晶圆加工技术领域，包括：定位基座，用于放置晶圆；至少三组定心装置，以间隔环绕的方式设置所述定位基座周围，且每组所述定心装置均距所述定位基座中心的距离相等；同步驱动装置，设置为能够带动所述至少三组定心装置同时向靠近或远离所述定位基座中心的方向移动相同距离，在带动所述至少三组定心装置同时向靠近所述定位基座中心的方向移动相同距离时，所述定心装置推动所述晶圆使所述晶圆的圆心与所述定位基座的中心位于同一轴线上。旨在解决相关技术中晶圆定心成本较高的缺陷。
本实用新型一种定心机构在权利要求书中公布了：1.一种定心机构，其特征在于，包括： 定位基座1，用于放置晶圆； 至少三组定心装置2，以间隔环绕的方式设置在所述定位基座1周围，且每组所述定心装置2均距所述定位基座1中心的距离相等； 同步驱动装置3，设置为能够带动所述至少三组定心装置2同时向靠近或远离所述定位基座1中心的方向移动相同距离，在带动所述至少三组定心装置2同时向靠近所述定位基座1中心的方向移动相同距离时，所述定心装置2推动所述晶圆使所述晶圆的圆心与所述定位基座1的中心位于同一轴线上。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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